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公开(公告)号：CN107634231B
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201710800567.0
申请日：2017-09-07
Applicant: 厦门大学
IPC: H01M4/88 , H01M8/0258 , H01M8/1004 , H01M12/06
Abstract: 本发明公开了一种质子交换膜燃料电池的制备方法，特别涉及一种硅基一体化质子交换膜燃料电池的制备方法。采用二氧化硅微/纳米球等作为模板，双气流同时通入刻蚀气体SF6与辅助气体O2等，通过电感耦合等离子刻蚀机进行深硅刻蚀，得到三维硅微/纳米柱阵列。通过结构优化，如引入导电层和划片处理等，即可作为质子交换膜燃料电池的流场。基于上述硅基流场，进一步集成气体扩散层和催化层，实现了一体化硅基质子交换膜燃料电池的构建。该燃料电池制备方法简单，和现有的硅基半导体工艺相兼容，并且功率密度较高，在微/纳机电系统的电源供应等领域有潜在的应用。
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公开(公告)号：CN105680001A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610020438.5
申请日：2016-01-13
Applicant: 厦门大学
IPC: H01M4/134 , H01M4/1395 , H01M4/62 , H01M10/0525
CPC classification number: H01M4/134 , H01M4/1395 , H01M4/62 , H01M10/0525 , H01M2004/021
Abstract: 本发明公开了一种ZIF-8/硅复合纳米柱阵列电极及其制备方法。采用甲醇作为溶剂，二水合乙酸锌作为锌源，2-甲基咪唑作为有机配体，硅纳米柱阵列作为负载载体，通过简易的溶液生长的方式制备了三维ZIF-8/硅复合电极。所得电极作为锂离子电池的阳极经过充放电循环之后容量可达到0.5mAh/cm-2。该复合电极制备方法简单，将沸石咪唑酯骨架ZIF-8良好的锂离子传导率与三维结构的硅纳米柱阵列相结合，可以提高电极的容量，并且制备方法和现有的硅工艺相兼容，此复合结构也有望在其他能源器件(如燃料电池、微机电系统的电源供应)等领域应用。
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公开(公告)号：CN105576208A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610069664.2
申请日：2016-02-01
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种引入TiN/Ti作为中间层的纳米复合电极结构及其制备方法。本发明以TiN/Ti作为中间层的纳米复合电极呈现独特的火柴状结构。制作方法为首先将单层的聚苯乙烯纳米球模板利用旋涂法自组装在预先清洗、活化处理后的硅衬底上；随后采用电感应耦合等离子体干法刻蚀技术进行刻蚀上述样品；之后依次利用有机溶剂及标准清洗硅片工艺去除掩膜及刻蚀过程中所产生的副产物即可得到晶圆级三维硅纳米柱阵列基础结构；最后利用射频磁控溅射技术依次沉积TiN、Ti、Ge得到该电极结构。此独特的三维纳米复合电极结构可作为可集成微型锂/钠离子电池、燃料电池等储能系统模块应用在微/纳机械系统等智能微型传感半导体器件中。
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公开(公告)号：CN107634231A
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201710800567.0
申请日：2017-09-07
Applicant: 厦门大学
IPC: H01M4/88 , H01M8/0258 , H01M8/1004 , H01M12/06
Abstract: 本发明公开了一种质子交换膜燃料电池的制备方法，特别涉及一种硅基一体化质子交换膜燃料电池的制备方法。采用二氧化硅微/纳米球等作为模板，双气流同时通入刻蚀气体SF6与辅助气体O2等，通过电感耦合等离子刻蚀机进行深硅刻蚀，得到三维硅微/纳米柱阵列。通过结构优化，如引入导电层和划片处理等，即可作为质子交换膜燃料电池的流场。基于上述硅基流场，进一步集成气体扩散层和催化层，实现了一体化硅基质子交换膜燃料电池的构建。该燃料电池制备方法简单，和现有的硅基半导体工艺相兼容，并且功率密度较高，在微/纳机电系统的电源供应等领域有潜在的应用。
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