公开(公告)号：CN119401984A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202411457519.2

申请日：2024-10-18

Applicant: 南通大学

Inventor： 郭兴龙 ,  张节承 ,  陈庆豪 ,  徐大超 ,  马宇杰 ,  邓洪海 ,  李毅 ,  朱友华

IPC: H03J5/24 ,  H03H11/28 ,  H04L25/02 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种基于SOI衬底具有缺陷地结构的微机械阻抗匹配网络调谐器及其制作方法，本发明的调谐器器件采用了SOI作为衬底，能够有效的降低损耗，器件结构依次对称的排在信号线的两侧，一端是信号输入端，另一端是信号输出端；六个高阻偏压垫各自分置于器件的两端，信号线的两侧对称的是两条传输线，在其信号线的上面有两种DGS结构，并且MEMS桥架构于其上，通过导线和信号线并联连接，通过MEMS桥的开关达到电容可变及有效介质的值来实现阻抗的可变；位于信号线的上的两种DGS结构使得结构紧凑，并且能够调节阻抗。