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公开(公告)号:CN118375844A
公开(公告)日:2024-07-23
申请号:CN202410566973.5
申请日:2024-05-09
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司 , 南昌实验室
Abstract: 本发明公开了一种氨气恒压供应控制系统及其控制方法,涉及半导体特气供应领域,该系统包括称重单元、储液单元、加热单元、调压单元、分配单元、缓冲单元、分析单元、吹扫单元和控制单元。其优点在于,设置有备用储液元件,并通过称重单元对储液单元进行称重检测以及加热单元对储液单元不同程度的加热,以确保正在使用的储液单元同时用尽后进行切换和换瓶,以确保氨气供应的连续性;通过加热单元对储液单元和缓冲单元以及管道进行加热,确保获得足够的氨气蒸发量并防止氨气液化;还设置有缓冲单元,在面对突然性的大流量需求时,保障供应氨气的压力恒定以保障稳定供应;并通过分析单元实时监测氨气的泄漏情况,以确保系统的安全稳定运行。
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公开(公告)号:CN116992523A
公开(公告)日:2023-11-03
申请号:CN202310762282.8
申请日:2023-06-27
Applicant: 南昌大学 , 南昌硅基半导体科技有限公司
IPC: G06F30/13 , G06F30/20 , G06F119/08
Abstract: 本发明公开了一种基于TRNSYS的冷水机组优化运行模型及建模方法,该模型基于TRNSYS,包括负荷部分、换热部分、冷水机组部分、水泵部分和运算分析部分。建模方法首先利用TRNSYS对建筑冷负荷进行模拟,得到建筑冷负荷数据;利用TRNSYS对冷水机组运行优化模型进行建模,搭建基于该建筑冷负荷的模拟仿真模型,能较好地模拟出冷水机组的运行能耗。另外,根据不同典型环境时间段建筑冷负荷,对机组运行参数进行优化,实现冷水机组在不同环境条件下的运行能耗的模拟仿真。本发明可以实现对不同典型环境下冷水机组运行能耗的模拟仿真,并且实现对于机组运行参数的优化,有利于冷水机组的节能运行。
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