公开(公告)号：CN117316836A

公开(公告)日：2023-12-29

申请号：CN202311607952.5

申请日：2023-11-29

Applicant: 南昌大学

Inventor： 张潇阳 ,  吴庆丰 ,  代国红 ,  胡爱荣 ,  吴俊杰 ,  姚宇航 ,  游锋 ,  温正齐

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统，数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理，质量分析模块在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级，质量分级结果发送至操作员。该管理系统能够在晶圆进行加工过程中，实时监测影响晶圆质量的加工参数，当加工参数异常时，及时发出警示信号，并且，在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级，从而避免能使用但质量较低的晶圆用于精密器件使用。

公开(公告)号：CN117316836B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN202311607952.5

申请日：2023-11-29

Applicant: 南昌大学

Inventor： 张潇阳 ,  吴庆丰 ,  代国红 ,  胡爱荣 ,  吴俊杰 ,  姚宇航 ,  游锋 ,  温正齐

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统，数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理，质量分析模块在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级，质量分级结果发送至操作员。该管理系统能够在晶圆进行加工过程中，实时监测影响晶圆质量的加工参数，当加工参数异常时，及时发出警示信号，并且，在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级，从而避免能使用但质量较低的晶圆用于精密器件使用。

公开(公告)号：CN117238196A

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202311095665.0

申请日：2023-08-29

Applicant: 南昌大学

Inventor： 洪文钦 ,  胡爱荣 ,  韩道福 ,  袁吉仁 ,  唐可

IPC: G09B23/22 ,  G02B7/02

Abstract: 本发明涉及组合光镜装置技术领域，且公开了一种大学物理实验用组合光镜装置，包括透镜调节单元和用于连接透镜调节单元的底板，所述底板表面固定连接有光源接收单元，所述底板表面固定连接有光源输出台，所述光源输出台表面固定连接有光源发射装置，所述底板底部固定连接有减震防滑脚垫，所述光源接收单元表面固定连接有固定装置，所述固定装置表面固定连接有背光布收束装置，所述背光布收束装置表面活动连接有背光幕布，使得设备可通过光源接收单元对设备状态进行自行调节，使得实验的过程更加简单方便，避免因过于复杂的光源状态导致实验效率降低。

公开(公告)号：CN218181712U

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202222592041.7

申请日：2022-09-29

Applicant: 南昌大学

Inventor： 洪文钦 ,  胡爱荣 ,  黄国庆 ,  韩道福

IPC: G09B23/18

Abstract: 本实用新型涉及一种磁场模拟设备，包括上下设置的安装板以及支撑板，所述安装板与支撑板之间设置有若干模拟机构，设置有展示机构，所述模拟机构包括安装块，所述安装块上螺接有一个螺杆，安装块两侧分别滑动连接有一个滑杆，所述螺杆相对靠近展示机构一端固定连接有磁性件，所述滑杆上下两侧端面分别固定连接有有一个T型滑块，所述安装板、支撑板上针对T型滑块设置有滑槽，通过螺纹连接可改变磁性件与展示机构之间的相对距离，通过滑动连接可改变磁性件竖直方向上的相对高度，通过T型滑块与滑槽之间相互配合能够改变磁性件在水平方向上的相对位置，从而在实际中展示机构可感应到不同位置关系和角度关系的复杂磁场。

公开(公告)号：CN208547596U

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201821276806.3

申请日：2018-08-09

Applicant: 南昌大学

Inventor： 洪文钦 ,  韩道福 ,  胡爱荣

IPC: G01N25/48

Abstract: 大学物理实验冰的溶解热测定装置，本实用新型涉及溶解热测定技术领域，支撑架内设有杜瓦瓶；杜瓦瓶上部设有盖体；盖体由从内到外设置的二号材料层、保温层和一号材料层构成；所述的盖体上表面中部固定设有电机，电机的输出轴连接有搅拌轴，搅拌轴的内端穿过盖体后，设于杜瓦瓶内的水中；所述的搅拌轴上从上到下依次并列设有数个搅拌装置；搅拌装置由数个搅拌叶构成的；搅拌叶固定在搅拌轴的侧壁上；所述的盖体上表面左右两侧分别固定设有二号温度感应器和三号温度感应器；二号温度感应器和三号温度感应器的感应端均穿过盖体后，设于杜瓦瓶内的水中；所有程序由计算机控制和计算，效率高，正确性高，保证数据的及时性。