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公开(公告)号：CN117316836B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311607952.5
申请日：2023-11-29
Applicant: 南昌大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统，数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理，质量分析模块在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级，质量分级结果发送至操作员。该管理系统能够在晶圆进行加工过程中，实时监测影响晶圆质量的加工参数，当加工参数异常时，及时发出警示信号，并且，在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级，从而避免能使用但质量较低的晶圆用于精密器件使用。
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公开(公告)号：CN117147542B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202310990973.3
申请日：2023-08-08
Applicant: 南昌大学
Abstract: 本发明提供一种马兰戈尼效应测试装置，包括冷水槽、第一抽水泵、精密泵、主水槽、废水槽、热水槽和高温水泵，所述冷水槽通过输入管与第一抽水泵连接，所述第一抽水泵安装在第一滤槽侧外壁上，第一抽水泵的输出管出口位于第一滤槽正上方，所述第一滤槽一侧连接有精密泵，所述精密泵出口处连接有稳流管，所述稳流管出口处设有主水槽，所述主水槽远离稳流管的一端通过废水管连通至废水槽，所述废水管上设有第二双通水阀，废水管通过第二双通水阀经L型管与第二第一滤槽端连接，所述第二滤槽另一端通过高温水泵与热水槽连接。本发明可通过热成像设备和摄像机、热成像设备来记录其内部马兰戈尼效应的数据，可让实验者更加直观的得出实验数据。
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公开(公告)号：CN117316836A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311607952.5
申请日：2023-11-29
Applicant: 南昌大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统，数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理，质量分析模块在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级，质量分级结果发送至操作员。该管理系统能够在晶圆进行加工过程中，实时监测影响晶圆质量的加工参数，当加工参数异常时，及时发出警示信号，并且，在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级，从而避免能使用但质量较低的晶圆用于精密器件使用。
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公开(公告)号：CN117147542A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202310990973.3
申请日：2023-08-08
Applicant: 南昌大学
Abstract: 本发明提供一种马兰戈尼效应测试装置，包括冷水槽、第一抽水泵、精密泵、主水槽、废水槽、热水槽和高温水泵，所述冷水槽通过输入管与第一抽水泵连接，所述第一抽水泵安装在第一滤槽侧外壁上，第一抽水泵的输出管出口位于第一滤槽正上方，所述第一滤槽一侧连接有精密泵，所述精密泵出口处连接有稳流管，所述稳流管出口处设有主水槽，所述主水槽远离稳流管的一端通过废水管连通至废水槽，所述废水管上设有第二双通水阀，废水管通过第二双通水阀经L型管与第二第一滤槽端连接，所述第二滤槽另一端通过高温水泵与热水槽连接。本发明可通过热成像设备和摄像机、热成像设备来记录其内部马兰戈尼效应的数据，可让实验者更加直观的得出实验数据。
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