一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统

    公开(公告)号:CN117316836A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311607952.5

    申请日:2023-11-29

    Applicant: 南昌大学

    Abstract: 本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统,数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理,质量分析模块在晶圆加工完成后,综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级,质量分级结果发送至操作员。该管理系统能够在晶圆进行加工过程中,实时监测影响晶圆质量的加工参数,当加工参数异常时,及时发出警示信号,并且,在晶圆加工完成后,综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级,从而避免能使用但质量较低的晶圆用于精密器件使用。

    一种马兰戈尼效应测试装置

    公开(公告)号:CN117147542A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202310990973.3

    申请日:2023-08-08

    Applicant: 南昌大学

    Abstract: 本发明提供一种马兰戈尼效应测试装置,包括冷水槽、第一抽水泵、精密泵、主水槽、废水槽、热水槽和高温水泵,所述冷水槽通过输入管与第一抽水泵连接,所述第一抽水泵安装在第一滤槽侧外壁上,第一抽水泵的输出管出口位于第一滤槽正上方,所述第一滤槽一侧连接有精密泵,所述精密泵出口处连接有稳流管,所述稳流管出口处设有主水槽,所述主水槽远离稳流管的一端通过废水管连通至废水槽,所述废水管上设有第二双通水阀,废水管通过第二双通水阀经L型管与第二第一滤槽端连接,所述第二滤槽另一端通过高温水泵与热水槽连接。本发明可通过热成像设备和摄像机、热成像设备来记录其内部马兰戈尼效应的数据,可让实验者更加直观的得出实验数据。

    一种马兰戈尼效应测试装置

    公开(公告)号:CN117147542B

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202310990973.3

    申请日:2023-08-08

    Applicant: 南昌大学

    Abstract: 本发明提供一种马兰戈尼效应测试装置,包括冷水槽、第一抽水泵、精密泵、主水槽、废水槽、热水槽和高温水泵,所述冷水槽通过输入管与第一抽水泵连接,所述第一抽水泵安装在第一滤槽侧外壁上,第一抽水泵的输出管出口位于第一滤槽正上方,所述第一滤槽一侧连接有精密泵,所述精密泵出口处连接有稳流管,所述稳流管出口处设有主水槽,所述主水槽远离稳流管的一端通过废水管连通至废水槽,所述废水管上设有第二双通水阀,废水管通过第二双通水阀经L型管与第二第一滤槽端连接,所述第二滤槽另一端通过高温水泵与热水槽连接。本发明可通过热成像设备和摄像机、热成像设备来记录其内部马兰戈尼效应的数据,可让实验者更加直观的得出实验数据。

    一种核燃料棒表面水溶性耐刮擦涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN118109096A

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410188659.8

    申请日:2024-02-20

    Applicant: 南昌大学

    Abstract: 本发明公开了一种核燃料棒表面水溶性耐刮擦涂层的制备方法,涉及涂层制备技术领域,本发明基于预乳化半连续种子乳液聚合技术制备出硬度柔韧性平衡的聚丙烯酸酷乳液,构筑中和成盐法水化聚丙烯酸酷乳液,通过恒温连续式固化工艺,研制出水溶性耐刮擦涂层,应用于核燃料棒表面,以提供耐刮擦的保护,中和成盐法水化聚丙烯酸酷乳液的制备可以调整乳液的性质,而恒温连续式固化工艺确保涂层在特定温度和时间下固化并达到更高的硬度和柔韧性,通过恒温连续式固化工艺,得到水溶性耐刮擦涂层,使其在穿过核燃料组件骨架的导向翼和弹簧片时免受刮伤,同时又可在安装结束后用热水或热碱彻底清洗干净,保证核燃料棒后续正常工作。

    一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统

    公开(公告)号:CN117316836B

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202311607952.5

    申请日:2023-11-29

    Applicant: 南昌大学

    Abstract: 本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统,数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理,质量分析模块在晶圆加工完成后,综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级,质量分级结果发送至操作员。该管理系统能够在晶圆进行加工过程中,实时监测影响晶圆质量的加工参数,当加工参数异常时,及时发出警示信号,并且,在晶圆加工完成后,综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数后对晶圆进行质量分级,从而避免能使用但质量较低的晶圆用于精密器件使用。

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