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公开(公告)号：CN107381495B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN201710718750.6
申请日：2017-08-21
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种MEMS微热板及其制造方法，该MEMS微热板包括：硅基衬底，硅基衬底包括测量区域和加热区域；第一介电层，位于硅基衬底的上表面；加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于第一介电层上，加热电极对应设置在加热区域，以及测量电极对应设置在测量区域；隔热凹槽，位于硅基衬底的下表面且贯穿硅基衬底，以及隔热凹槽的槽底在垂直于硅基衬底的方向上覆盖加热区域。本发明实施例中，MEMS微热板的加热电极和测量电极采用共平面设计，只需要沉积一层金属电极层并采用一次金属图案化工艺即可完成；与现有技术相比，降低了加工工艺复杂度、减少了制造工序、并降低了制造成本，还提高MEMS微热板的制造良率。
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公开(公告)号：CN107381495A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710718750.6
申请日：2017-08-21
Applicant: 南方科技大学
CPC classification number: B81B7/0096 , B81C99/0035 , H05B3/03 , H05B3/283
Abstract: 本发明实施例公开了一种MEMS微热板及其制造方法，该MEMS微热板包括：硅基衬底，硅基衬底包括测量区域和加热区域；第一介电层，位于硅基衬底的上表面；加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于第一介电层上，加热电极对应设置在加热区域，以及测量电极对应设置在测量区域；隔热凹槽，位于硅基衬底的下表面且贯穿硅基衬底，以及隔热凹槽的槽底在垂直于硅基衬底的方向上覆盖加热区域。本发明实施例中，MEMS微热板的加热电极和测量电极采用共平面设计，只需要沉积一层金属电极层并采用一次金属图案化工艺即可完成；与现有技术相比，降低了加工工艺复杂度、减少了制造工序、并降低了制造成本，还提高MEMS微热板的制造良率。
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公开(公告)号：CN108538954A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810508717.5
申请日：2018-05-24
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种热释电器件及其制造方法，该热释电器件包括：第一衬底，第一衬底包括热释电功能区和位于热释电功能区外围的非功能区；层叠设置的第一介电层和第二介电层，第一介电层与第一衬底接触设置，在第一衬底的垂直方向上热释电功能区的投影覆盖的第一介电层和第二介电层之间存在间隙以构成隔热结构，非功能区的投影覆盖的第一介电层和第二介电层直接接触；位于第二介电层上且层叠设置的第一电极、热释电材料层和第二电极，在第一衬底的垂直方向上热释电功能区的投影与热释电材料层交叠。本发明实施例中，在第一衬底上采用薄膜工艺形成各膜层，可自主控制热释电器件的厚度；热释电器件的面积较小且成本较低；可以降低震动和应力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108037161A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201711437760.9
申请日：2017-12-26
Applicant: 南方科技大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明提供了一种基于氟化咪唑离子凝胶的二氧化碳气体传感器及其制备方法和用途，所述二氧化碳气体传感器包括衬底层以及在衬底层上依次形成的介电‑金属电极组合层和氟化咪唑离子凝胶层，其中介电‑金属电极组合层为经过粗糙图形化的介电层和金属电极层形成的组合层。本发明所述二氧化碳气体传感器通过氟化咪唑离子凝胶层感知环境中二氧化碳浓度变化，并通过对介电‑金属电极组合层进行粗糙图形化，防止氟化咪唑离子凝胶层中的氟化咪唑离子凝胶流动，进而使传感器具有更好的稳定性，并且防止空气中水分对测试结果的干扰，具有更好的准确率；同时，传感器的功耗低，器件结构简单，成本低。
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公开(公告)号：CN108929692B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN201811030774.3
申请日：2018-09-05
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本发明提供了一种用于检测重金属离子的量子点荧光材料及其制备方法，所述量子点荧光材料包括量子点和含巯基的有机酸配体，所述含巯基的有机酸配体附在量子点表面，所述量子点为核壳结构；所述量子点荧光材料的制备方法包括：利用表面配体替换的方式将核壳结构的量子点表面的油相配体替换为含巯基的有机酸的配体，得到所述量子点荧光材料；所述量子点荧光材料可用于检测废水中的重金属离子。
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公开(公告)号：CN108929692A
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201811030774.3
申请日：2018-09-05
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本发明提供了一种用于检测重金属离子的量子点荧光材料及其制备方法，所述量子点荧光材料包括量子点和含巯基的有机酸配体，所述含巯基的有机酸配体附在量子点表面，所述量子点为核壳结构；所述量子点荧光材料的制备方法包括：利用表面配体替换的方式将核壳结构的量子点表面的油相配体替换为含巯基的有机酸的配体，得到所述量子点荧光材料；所述量子点荧光材料可用于检测废水中的重金属离子。
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公开(公告)号：CN207375750U
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201721047736.X
申请日：2017-08-21
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种MEMS微热板，该MEMS微热板包括：硅基衬底，硅基衬底包括测量区域和加热区域；第一介电层，位于硅基衬底的上表面；加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于第一介电层上，加热电极对应设置在加热区域，以及测量电极对应设置在测量区域；隔热凹槽，位于硅基衬底的下表面且贯穿硅基衬底，以及隔热凹槽的槽底在垂直于硅基衬底的方向上覆盖加热区域。本实用新型实施例中，MEMS微热板的加热电极和测量电极采用共平面设计，只需要沉积一层金属电极层并采用一次金属图案化工艺即可完成；与现有技术相比，降低了加工工艺复杂度、减少了制造工序、并降低了制造成本，还提高MEMS微热板的制造良率。
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公开(公告)号：CN208298851U
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201820783390.8
申请日：2018-05-24
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种热释电器件，该热释电器件包括：第一衬底，第一衬底包括热释电功能区和位于热释电功能区外围的非功能区；层叠设置的第一介电层和第二介电层，第一介电层与第一衬底接触设置，在第一衬底的垂直方向上热释电功能区的投影覆盖的第一介电层和第二介电层之间存在间隙以构成隔热结构，非功能区的投影覆盖的第一介电层和第二介电层直接接触；位于第二介电层上且层叠设置的第一电极、热释电材料层和第二电极，在第一衬底的垂直方向上热释电功能区的投影与热释电材料层交叠。本实用新型实施例中，在第一衬底上采用薄膜工艺形成各膜层，可自主控制热释电器件的厚度；热释电器件的面积较小且成本较低；可以降低震动和应力。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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