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公开(公告)号：CN107381495B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN201710718750.6
申请日：2017-08-21
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种MEMS微热板及其制造方法，该MEMS微热板包括：硅基衬底，硅基衬底包括测量区域和加热区域；第一介电层，位于硅基衬底的上表面；加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于第一介电层上，加热电极对应设置在加热区域，以及测量电极对应设置在测量区域；隔热凹槽，位于硅基衬底的下表面且贯穿硅基衬底，以及隔热凹槽的槽底在垂直于硅基衬底的方向上覆盖加热区域。本发明实施例中，MEMS微热板的加热电极和测量电极采用共平面设计，只需要沉积一层金属电极层并采用一次金属图案化工艺即可完成；与现有技术相比，降低了加工工艺复杂度、减少了制造工序、并降低了制造成本，还提高MEMS微热板的制造良率。
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公开(公告)号：CN107381495A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710718750.6
申请日：2017-08-21
Applicant: 南方科技大学
CPC classification number: B81B7/0096 , B81C99/0035 , H05B3/03 , H05B3/283
Abstract: 本发明实施例公开了一种MEMS微热板及其制造方法，该MEMS微热板包括：硅基衬底，硅基衬底包括测量区域和加热区域；第一介电层，位于硅基衬底的上表面；加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于第一介电层上，加热电极对应设置在加热区域，以及测量电极对应设置在测量区域；隔热凹槽，位于硅基衬底的下表面且贯穿硅基衬底，以及隔热凹槽的槽底在垂直于硅基衬底的方向上覆盖加热区域。本发明实施例中，MEMS微热板的加热电极和测量电极采用共平面设计，只需要沉积一层金属电极层并采用一次金属图案化工艺即可完成；与现有技术相比，降低了加工工艺复杂度、减少了制造工序、并降低了制造成本，还提高MEMS微热板的制造良率。
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公开(公告)号：CN207375750U
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201721047736.X
申请日：2017-08-21
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种MEMS微热板，该MEMS微热板包括：硅基衬底，硅基衬底包括测量区域和加热区域；第一介电层，位于硅基衬底的上表面；加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于第一介电层上，加热电极对应设置在加热区域，以及测量电极对应设置在测量区域；隔热凹槽，位于硅基衬底的下表面且贯穿硅基衬底，以及隔热凹槽的槽底在垂直于硅基衬底的方向上覆盖加热区域。本实用新型实施例中，MEMS微热板的加热电极和测量电极采用共平面设计，只需要沉积一层金属电极层并采用一次金属图案化工艺即可完成；与现有技术相比，降低了加工工艺复杂度、减少了制造工序、并降低了制造成本，还提高MEMS微热板的制造良率。
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公开(公告)号：CN203289149U
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201320321000.2
申请日：2013-06-05
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本实用新型公开一种智能公交站台，其包括：太阳能电池板、支架、中央控制器及信息交互装置，太阳能电池板设置于所述支架上方；中央控制器设置于太阳能电池板下方，中央控制器包括：用于进行电流逆变的并网逆变器、用于储存电能的蓄电池、用于控制所述蓄电池充放电的光伏控制器，用于安装智能电表并从市电电网获得电能的配电柜；信息交互装置镶嵌于所述支架内，其包括显示屏以及进行数据处理收集用户信息的处理器。本实用新型智能公交站台，能够利用太阳能电池板发电，并可将多余的电能储存在蓄电池中或者并入市电电网，节能、环保；同时，该智能公交站台还具有信息交互装置，为用户生活和政府管理提供便利。
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