公开(公告)号：CN101093863A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710057597.3

申请日：2007-06-12

Applicant: 南开大学

Inventor： 施成营 ,  孙云 ,  何青 ,  李凤岩 ,  赵久成

IPC: H01L31/042 ,  H01L31/02 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明公开了一种ZnO为电绝缘与杂质阻挡层的薄膜太阳电池及其制备方法，利用该发明制备的金属衬底ZnO杂质阻挡层和电绝缘层，适宜于柔性光伏电池。本发明利用纯锌靶或者ZnO陶瓷靶等靶材，通过溅射法在金属衬底上沉积ZnO薄膜，通过调整Ar和O2流量比来获得理想的ZnO薄膜，薄膜结构致密，作为杂质阻挡层对于金属衬底内的杂质具有很好的阻挡效果，作为电绝缘层具有良好的绝缘效果，用于制备柔性金属衬底电池及组件。