公开(公告)号：CN105259666B

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201510860470.X

申请日：2015-11-30

Applicant: 南开大学

Inventor： 涂成厚 ,  蔡孟强 ,  李萍萍 ,  潘岳 ,  李勇男 ,  王慧田

IPC: G02B27/42 ,  G02B27/28

Abstract: 一种基于动态调控的焦场轨迹制作微结构的装置。包括飞秒激光器、动态飞秒矢量光场阵列产生及调控系统和紧聚焦微加工系统。工作原理是：在空间光调制器上加载全息光栅来生成矢量光场阵列，经显微物镜聚焦，获得具有特定光强分布的紧聚焦焦场。通过设计动态变化的全息光栅来获得动态变化的矢量光场阵列，其经紧聚焦后可产生随时间变化的、呈现特定形状(如四边形、八边形、风扇叶形等)的焦场轨迹。基于生成的焦场轨迹即可获得与焦场轨迹对应的微结构。本发明相比于其他制作微纳结构的方法具有无需样品或光源移动的独特优点，制作的微结构接近波长量级，可加工任意设计的二维/三维微结构，在制作微结构时具有高效、可重复性高、稳定性好等优点。

公开(公告)号：CN105259666A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201510860470.X

申请日：2015-11-30

Applicant: 南开大学

Inventor： 涂成厚 ,  蔡孟强 ,  李萍萍 ,  潘岳 ,  李勇男 ,  王慧田

IPC: G02B27/42 ,  G02B27/28

CPC classification number: G02B27/4233 ,  G02B27/283

Abstract: 一种基于动态调控的焦场轨迹制作微结构的装置。包括飞秒激光器、动态飞秒矢量光场阵列产生及调控系统和紧聚焦微加工系统。工作原理是：在空间光调制器上加载全息光栅来生成矢量光场阵列，经显微物镜聚焦，获得具有特定光强分布的紧聚焦焦场。通过设计动态变化的全息光栅来获得动态变化的矢量光场阵列，其经紧聚焦后可产生随时间变化的、呈现特定形状(如四边形、八边形、风扇叶形等)的焦场轨迹。基于生成的焦场轨迹即可获得与焦场轨迹对应的微结构。本发明相比于其他制作微纳结构的方法具有无需样品或光源移动的独特优点，制作的微结构接近波长量级，可加工任意设计的二维/三维微结构，在制作微结构时具有高效、可重复性高、稳定性好等优点。