公开(公告)号：CN116169161A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202310182914.3

申请日：2023-03-01

Applicant: 南开大学

Inventor： 朱剑 ,  赵颖涛 ,  庞茜茜 ,  张安妮

IPC: H01L29/06 ,  H01L29/49 ,  H01L29/78 ,  H01L21/336

Abstract: 一种基于无机半导体纳米线取向阵列有源层的单轴可拉伸薄膜晶体管的制备方法，属于可拉伸半导体和柔性可穿戴电子领域，该方法首先制备可拉伸基板，然后在可拉伸基板上组转取向纳米线阵列，并通过光刻、反应离子刻蚀对纳米线进行限域；利用喷涂沉积碳纳米管网络可拉伸电极，并采用可拉伸离子凝胶栅电解质完成可拉伸薄膜晶体管的制备。该方法与传统的微纳光刻工艺相兼容，工艺简单，成本低廉，可实现大面积薄膜晶体管制备和复杂功能集成。该制备方法能够制备出兼具较高电性能和拉伸性的可拉伸薄膜晶体管，为人体关节处等单轴形变量大的区域实现拉伸穿戴器件提供了基础。

公开(公告)号：CN116143068A

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202310183150.X

申请日：2023-03-01

Applicant: 南开大学

Inventor： 朱剑 ,  赵颖涛 ,  庞茜茜 ,  张安妮

IPC: B82B3/00

Abstract: 本发明公开了一种柔性纳米线取向阵列的大面积组装方法，属于纳米材料的组装技术领域，先通过液相合成制备一维纳米线，将纳米线进行尺寸筛分后分散在水中配置为特定浓度的溶液；将基板进行异电化处理；将基板缓慢浸入纳米线溶液中，由于静电力吸附和基板移动而水动力驱动纳米线取向，在基板上形成取向良好的纳米线阵列薄膜。本发明方法可以适用于多种超长一维纳米材料和任意基板，适用于阵列薄膜的大面积快速制备，并且可以控制一维纳米材料多角度多层取向网络，为制备基于纳米线(NW)的柔性电子器件(包括可穿戴储能设备、柔性显示器、电子传感器和健康监测器)领域提供了良好的工业化制备基础。