一种螺环小分子浮栅型有机场效应晶体管存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105679938A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610080277.9

    申请日:2016-02-04

    CPC classification number: H01L51/0508 H01L51/0034 H01L51/005

    Abstract: 本发明涉及基于小分子的有机非易失性场效应晶体管存储器件领域。公开了一种螺环小分子浮栅型有机场效应晶体管存储器及其制备方法。所述存储器从上至下依次结构包括源漏电极、半导体层、隧穿层、浮栅层、电荷阻挡层,栅绝缘层,其中隧穿层、浮栅层、电荷阻挡层共同组合成了电荷捕获层。本发明所述晶体管存储器采用溶液加工法制备,操作简便,成本低廉,节约能源,有利于大规模批量化生产电荷捕获层为一层平滑的小分子螺环材料和高介电常数聚合物的复合纳米薄膜该存储器实现了高密度、稳定的非易失性存储性能,且保持较高迁移率和开关比(104),且操作工艺简单,成本较低,便于存储器件的推广、生产。

    一种螺环小分子浮栅型有机场效应晶体管存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105679938B

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201610080277.9

    申请日:2016-02-04

    Abstract: 本发明涉及基于小分子的有机非易失性场效应晶体管存储器件领域。公开了一种螺环小分子浮栅型有机场效应晶体管存储器及其制备方法。所述存储器从上至下依次结构包括源漏电极、半导体层、隧穿层、浮栅层、电荷阻挡层,栅绝缘层,其中隧穿层、浮栅层、电荷阻挡层共同组合成了电荷捕获层。本发明所述晶体管存储器采用溶液加工法制备,操作简便,成本低廉,节约能源,有利于大规模批量化生产电荷捕获层为一层平滑的小分子螺环材料和高介电常数聚合物的复合纳米薄膜该存储器实现了高密度、稳定的非易失性存储性能,且保持较高迁移率和开关比(104),且操作工艺简单,成本较低,便于存储器件的推广、生产。

    一种多孔结构隧穿层有机场效应晶体管存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104993052B

    公开(公告)日:2017-09-29

    申请号:CN201510359744.7

    申请日:2015-06-25

    Abstract: 本发明涉及一种多孔结构隧穿层有机场效应晶体管存储器及其制备方法,属于半导体行业存储器技术和生物薄膜技术领域。该存储器包括源漏电极、半导体、第二类栅绝缘层、浮栅层、第一类栅绝缘层,所述第一类栅绝缘层为二氧化硅/硅基片,所述半导体与第一类栅绝缘层之间从上到下依次有具有多孔结构聚合物薄膜层和纳米结构浮栅层。本发明通过简单的工艺手段改进存储器性能,使其反复擦写可靠性得到很大提升;并且采用金属铜作为器件源漏电极,降低了器件制备成本,便于推广、应用。

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