一种基于OPCL耦合的光机械腔质量传感器

    公开(公告)号:CN108827431A

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201810572636.1

    申请日:2018-06-06

    Inventor: 靳雷生 李凯文

    Abstract: 本发明提供了一种基于OPCL耦合的光机械腔质量传感器,包括主光机械振荡系统和从光机械振荡系统,以及电连接设置在二者之间的信号处理单元;主、从光机械振荡系统分别包括主、从激光泵,主、从光机械环形腔以及用于主、从电光探测器;主、从光机械环形腔内均蚀刻有圆形槽,圆形槽的两侧均镶嵌一圆形电容器构成两个电极;主光机械振荡系统还包括电流电压转换器和放大器单元,其输入端与主光机械环形腔的两个电极相连、输出端与信号处理单元相连;从光机械振荡系统还包括驱动单元,驱动单元的输入端与从光机械环形腔的两个电极相连、输出端与所述信号处理单元相连。该质量传感器具有灵敏度高、稳定性好、工作范围大等优点。

    一种基于OPCL耦合的光机械腔质量传感器

    公开(公告)号:CN108827431B

    公开(公告)日:2020-08-14

    申请号:CN201810572636.1

    申请日:2018-06-06

    Inventor: 靳雷生 李凯文

    Abstract: 本发明提供了一种基于OPCL耦合的光机械腔质量传感器,包括主光机械振荡系统和从光机械振荡系统,以及电连接设置在二者之间的信号处理单元;主、从光机械振荡系统分别包括主、从激光泵,主、从光机械环形腔以及用于主、从电光探测器;主、从光机械环形腔内均蚀刻有圆形槽,圆形槽的两侧均镶嵌一圆形电容器构成两个电极;主光机械振荡系统还包括电流电压转换器和放大器单元,其输入端与主光机械环形腔的两个电极相连、输出端与信号处理单元相连;从光机械振荡系统还包括驱动单元,驱动单元的输入端与从光机械环形腔的两个电极相连、输出端与所述信号处理单元相连。该质量传感器具有灵敏度高、稳定性好、工作范围大等优点。

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