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公开(公告)号：CN111668363B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202010524239.4
申请日：2020-06-10
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L41/39 , H01L41/187 , C01G33/00
Abstract: 本发明公开了一种基于双铌源的铌酸钾钠同质多层薄膜的制备方法，步骤为：(1)将五氧化二铌溶解于氢氟酸中，再添加草酸铵，滴加氨水生成白色沉淀，加入柠檬酸得到铌‑柠溶液，继续过滤得到澄清溶液，加入钾盐和钠盐，加入乙二醇，静置得到澄清的铌酸钾钠前驱体溶胶；(2)滴加乙二醇甲醚于反应釜中，吸取乙醇铌置于乙二醇甲醚中，混合溶液水浴加热，滴加冰醋酸，乙酰丙酮和甲酰胺，加入钾盐和钠盐搅拌，得到明黄色铌酸钾钠前驱体溶胶；(3)在硅片上交替旋涂步骤(1)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶和步骤(2)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶，得到铌酸钾钠同质多层薄膜。本发明得到的KNN多层薄膜在(100)取向高度择优。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110204361A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910602363.5
申请日：2019-07-05
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于镍酸镧过渡层制取高度择优取向的铌酸钾钠薄膜的制备方法，包括铌酸钾钠溶胶的制取，镍酸镧前驱体液的配置，在硅片上旋涂镍酸镧薄膜作为过渡层，最后在镀过镍酸镧的底电极的硅片上旋涂铌酸钾钠薄膜。镍酸镧是一种导电性能良好的金属氧化物，可以作为铌酸钾钠薄膜的底电极。相对于Pt等贵重金属底电极，镍酸镧底电极制备成本低，制备工艺简单，并且晶格常数与铌酸钾钠薄膜相接近。通过引入镍酸镧过渡金属氧化物层，制备了(100)高度择优取向的铌酸钾钠薄膜，提高了KNN薄膜的可调协性能。
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公开(公告)号：CN109627043A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910066730.4
申请日：2019-01-24
Applicant: 南京邮电大学
IPC: C04B41/70
CPC classification number: C04B41/52 , C04B41/009 , C04B41/70 , C04B32/00 , C04B41/5045 , C04B41/455 , C04B41/5027 , C04B41/0072 , C04B41/5036
Abstract: 本发明提供了具有高度择优取向的纯相铁酸铋薄膜的制备方法，其方法步骤是称取适量的乙酸镍和硝酸镧溶于乙酸和水的混合溶剂中，得到LaNiO3(LNO)前驱体溶液，采用旋涂镀膜法加热退火在(100)‑Si基片上制备具有高度择优取向的LNO导电薄膜作为底电极。称取摩尔比为1:1.05‑1.10的硝酸铁和硝酸铋与乙二醇甲醚混合，室温搅拌得到褐红色透明的BiFeO3(BFO)前驱体溶胶。将BFO前驱体溶胶以4000‑5000转/分的速率旋涂20秒，旋涂到LNO(001)/Si基片上，在热板上热解3‑10分钟，再放入575‑625℃管式炉中退火2‑3分钟，重复旋涂、热处理数次后，再将BFO薄膜放入575‑625℃管式炉中退火6‑8分钟后，得到具有一定厚度的择优取向的BFO薄膜。本发明制备出的BFO薄膜无杂质相、无第二相、呈现高度(001)择优取向。
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公开(公告)号：CN109627043B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201910066730.4
申请日：2019-01-24
Applicant: 南京邮电大学
IPC: C04B41/70
Abstract: 本发明提供了具有高度择优取向的纯相铁酸铋薄膜的制备方法，其方法步骤是称取适量的乙酸镍和硝酸镧溶于乙酸和水的混合溶剂中，得到LaNiO3(LNO)前驱体溶液，采用旋涂镀膜法加热退火在(100)‑Si基片上制备具有高度择优取向的LNO导电薄膜作为底电极。称取摩尔比为1:1.05‑1.10的硝酸铁和硝酸铋与乙二醇甲醚混合，室温搅拌得到褐红色透明的BiFeO3(BFO)前驱体溶胶。将BFO前驱体溶胶以4000‑5000转/分的速率旋涂20秒，旋涂到LNO(001)/Si基片上，在热板上热解3‑10分钟，再放入575‑625℃管式炉中退火2‑3分钟，重复旋涂、热处理数次后，再将BFO薄膜放入575‑625℃管式炉中退火6‑8分钟后，得到具有一定厚度的择优取向的BFO薄膜。本发明制备出的BFO薄膜无杂质相、无第二相、呈现高度(001)择优取向。
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公开(公告)号：CN111668363A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010524239.4
申请日：2020-06-10
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L41/39 , H01L41/187 , C01G33/00
Abstract: 本发明公开了一种基于双铌源的铌酸钾钠同质多层薄膜的制备方法，步骤为：(1)将五氧化二铌溶解于氢氟酸中，再添加草酸铵，滴加氨水生成白色沉淀，加入柠檬酸得到铌-柠溶液，继续过滤得到澄清溶液，加入钾盐和钠盐，加入乙二醇，静置得到澄清的铌酸钾钠前驱体溶胶；(2)滴加乙二醇甲醚于反应釜中，吸取乙醇铌置于乙二醇甲醚中，混合溶液水浴加热，滴加冰醋酸，乙酰丙酮和甲酰胺，加入钠盐和钠盐搅拌，得到明黄色铌酸钾钠前驱体溶胶；(3)在(100)硅片上交替旋涂步骤(1)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶和步骤(2)制备的铌酸钾钠前驱体溶胶，得到铌酸钾钠同质多层薄膜。本发明得到的KNN多层薄膜在(100)取向高度择优。
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公开(公告)号：CN109650443A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201910043148.6
申请日：2019-01-17
Applicant: 南京邮电大学
IPC: C01G33/00
Abstract: 本发明公开一种高度择优取向的铌酸钾钠薄膜的制备方法，该方法步骤为：称取氧化铌溶解于氢氟酸得到NbF5溶液，随后加入草酸铵作为稳定剂，最后滴加碱性PH调试剂，得到白色沉淀Nb(OH)5；对白色沉淀进行洗涤过滤，加入柠檬酸使其于发生络合反应得到柠檬酸铌，随后再对柠檬酸铌进行进一步过滤；加入钾盐和钠盐粉末，再加入一定量的乙二醇，最后将溶液静置得到均一澄清的KNN前驱体溶液；然后在经过预热处理的硅基底上旋涂前驱体溶液并进行退火处理，重复多次旋涂退火得到理想的KNN薄膜。本发明通过改进溶胶-凝胶法的非醇盐法和对硅衬底的处理，在普通(100)Si衬底上制备结晶性良好的KNN薄膜，且得到的KNN薄膜是在(001)晶向高度择优。
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