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公开(公告)号：CN119880911A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510054083.0
申请日：2025-01-14
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种大面积光电流扫描成像系统，属于太阳能电池及光电探测器的缺陷检测技术领域。本发明中通过在位移板相邻的两边连接驱动装置，使位移板带动经反射镜、半透半反镜和物镜在样品表面的光斑进行沿X轴或Y轴方向的移动，实现光斑的二维扫描，且该扫描方式采用单向扫描，提高了分辨率，避免了样品台扫描方式带来的测量不同器件需频繁在电极上焊接引线的问题，也避免了振镜扫描方式导致的扫描范围受限、图像畸变和光路系统复杂的问题；此外，通过半透半反镜、相机，并结合Z轴调节架，使光斑能够调节到足够小，增加了光电流扫描成像的空间分辨率，且结构简单，操作方便。
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