公开(公告)号：CN113437164B

公开(公告)日：2023-02-17

申请号：CN202110661496.7

申请日：2021-06-15

Applicant: 南京理工大学泰州科技学院

Inventor： 董恒平 ,  陈坤基 ,  杨华烽 ,  窦如凤 ,  井娥林 ,  李伟 ,  徐骏

IPC: H01L31/032 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/0376 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/09 ,  H01L31/20 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种光导型全硅基日盲紫外探测器及其制作方法，属于光电探测领域，光导型全硅基日盲紫外探测器包括：硅基底，所述硅基底为P型晶硅或本征晶硅，被配置为载流子传输层；非晶掺氧氮化硅薄膜，形成于所述硅基底表面，被配置为紫外光吸收层以产生载流子；叉指状电极，形成于所述非晶掺氧氮化硅薄膜表面。本发明的日盲紫外探测器采用发光的宽禁带非晶掺氧氮化硅(a‑SiNx:O)薄膜作为紫外光吸收层，以P型晶硅(p‑Si)或本征晶硅(i‑Si)作为载流子传输层，构建的光导型全硅基日盲紫外探测器不仅成本低廉，而且能与成熟的CMOS制造工艺相兼容，从而实现大面积生产。

公开(公告)号：CN113437164A

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN202110661496.7

申请日：2021-06-15

Applicant: 南京理工大学泰州科技学院

Inventor： 董恒平 ,  陈坤基 ,  杨华烽 ,  窦如凤 ,  井娥林 ,  李伟 ,  徐骏

IPC: H01L31/032 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/0376 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/09 ,  H01L31/20 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种光导型全硅基日盲紫外探测器及其制作方法，属于光电探测领域，光导型全硅基日盲紫外探测器包括：硅基底，所述硅基底为P型晶硅或本征晶硅，被配置为载流子传输层；非晶掺氧氮化硅薄膜，形成于所述硅基底表面，被配置为紫外光吸收层以产生载流子；叉指状电极，形成于所述非晶掺氧氮化硅薄膜表面。本发明的日盲紫外探测器采用发光的宽禁带非晶掺氧氮化硅(a‑SiNx:O)薄膜作为紫外光吸收层，以P型晶硅(p‑Si)或本征晶硅(i‑Si)作为载流子传输层，构建的光导型全硅基日盲紫外探测器不仅成本低廉，而且能与成熟的CMOS制造工艺相兼容，从而实现大面积生产。

公开(公告)号：CN103938181B

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201310210836.X

申请日：2013-05-30

Applicant: 南京理工大学泰州科技学院

Inventor： 董恒平 ,  陈坤基 ,  王昊 ,  窦如凤 ,  郭燕 ,  李伟 ,  徐骏

IPC: C23C16/30 ,  C23C16/505

Abstract: 本发明涉及一种硅基氮氧化合物薄膜的制备方法，首先将清洗过的衬底放入PECVD设备的反应腔内，分别将Ar、H2等离子化对衬底进行轰击清洗，然后在20～30℃通入SiH4、NH3、H2混合气体，等离子化后在衬底上淀积a‑SiNx薄膜，通入O2氧化a‑SiNx薄膜形成a‑SiNxOy薄膜，在较低的温度下利用大氢稀释方法制备薄膜，降低了薄膜中的非辐射复合缺陷，从而降低其加压后的漏电流，提高其发光的功率效率，使其与同类薄膜电致发光器件相比发光效率有数量级的增强。

公开(公告)号：CN205015295U

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201520303074.2

申请日：2015-05-09

Applicant: 南京理工大学泰州科技学院

Inventor： 孙正凤 ,  井娥林 ,  温宏愿 ,  窦如凤

IPC: G01N21/958

Abstract: 本实用新型公开了一种简易的防眩光玻璃防眩效果的检验测试系统，其特征在于，所述的系统包括光源、光学系统、图像采集器、图像处理设备。所述光源通过测试光学系统进行光学变换，消除光源在物平面照度下不均匀的缺点，当均匀照度的光线照射在物面玻璃上，在像面上呈现相应形状图形，并对图像进行处理，得到像面上的图形的尺寸。所述的光学系统通过两个凸透镜，并且透镜1将光源成像到透镜2的前焦面上，又继续通过透镜2成像到物平面上，这样在物平面上形成照度均匀的光线。

公开(公告)号：CN207833331U

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201820246495.X

申请日：2018-02-11

Applicant: 南京理工大学泰州科技学院

Inventor： 王昊 ,  孔令荣 ,  董恒平 ,  周莉莉 ,  窦如凤 ,  郭燕 ,  李波

IPC: G05D1/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于单片机控制的智能循迹小车系统，其包括单片机处理模块、金属探测模块、超声波检测模块、红外避障传感模块、红外遥控模块、测速模块、OLED显示模块和PWM电机驱动模块，所述金属探测模块采用LDC1000电磁传感器探测金属铁丝位置，所述超声波检测模块和红外避障传感模块用于辅助循迹，所述红外遥控模块包括红外线接收器和红外发射器，所述测速模块通过采用速度传感器检测电机的转动速度，所述OLED显示模块用于显示小车状态，所述电机驱动模块用于驱动电机以及控制小车的车速。本实用新型实现了循迹、遥控、避障、显示于一体，使得仓库的管理变得快速简单，为公司节约了成本，提高了效率。