一种柔性耐高温BaTi<sub>1‑x</sub>Co<sub>x</sub>O<sub>3</sub>阻变存储器

    公开(公告)号:CN106654008A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611120850.0

    申请日:2016-12-08

    CPC classification number: H01L45/12 H01L45/147

    Abstract: 本发明公开了一种柔性耐高温BaTi1‑xCoxO3阻变存储器,其结构为:衬底上设置底电极,底电极上设置BaTi1‑xCoxO3阻变功能层,x为0.05至0.3,功能层上设置顶电极,所述衬底为柔性云母。本发明的柔性耐高温阻变存储器具有优异的阻变性质,且柔性弯折性好,弯曲半径为1mm时,至少抗106次弯曲,阻变性质无明显变化;耐高温性优异,在500℃退火后仍能保持良好的阻变性能,在柔性存储器及柔性电子器件领域中有良好的应用前景。

    一种柔性耐高温BaTi1-xCoxO3阻变存储器

    公开(公告)号:CN106654008B

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201611120850.0

    申请日:2016-12-08

    Abstract: 本发明公开了一种柔性耐高温BaTi1‑xCoxO3阻变存储器,其结构为:衬底上设置底电极,底电极上设置BaTi1‑xCoxO3阻变功能层,x为0.05至0.3,功能层上设置顶电极,所述衬底为柔性云母。本发明的柔性耐高温阻变存储器具有优异的阻变性质,且柔性弯折性好,弯曲半径为1mm时,至少抗106次弯曲,阻变性质无明显变化;耐高温性优异,在500℃退火后仍能保持良好的阻变性能,在柔性存储器及柔性电子器件领域中有良好的应用前景。

    无机柔性全透明钙钛矿氧化物压控变容管及其制备方法

    公开(公告)号:CN109036849A

    公开(公告)日:2018-12-18

    申请号:CN201810697031.5

    申请日:2018-06-29

    Abstract: 本发明公开了无机柔性钙钛矿氧化物压控变容管及其制备方法。该透明柔性压控变容管由依次连接的云母衬底、全透明层状(Ag/ITO)n底电极、钙钛矿氧化物薄膜和透明ITO顶电极组成。该压控变容管以云母为衬底,使用O2作为溅射气体,利用溅射沉积技术在云母上依次沉积厚度为150nm‑250nm的(Ag/ITO)n底电极、厚度为200nm的钙钛矿氧化物薄膜和厚度为100nm‑300nm的ITO顶电极,制得无机柔性全透明钙钛矿氧化物压变变容管。本发明的压控变容管调谐率优异、透光率高;且柔性耐弯折,弯曲半径为1.4mm时其调谐率接近平整状态时的数值,在柔性、透明电子器件中具有广泛的应用前景。

    无机柔性全透明钙钛矿氧化物压控变容管及其制备方法

    公开(公告)号:CN109036849B

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201810697031.5

    申请日:2018-06-29

    Abstract: 本发明公开了无机柔性钙钛矿氧化物压控变容管及其制备方法。该透明柔性压控变容管由依次连接的云母衬底、全透明层状(Ag/ITO)n底电极、钙钛矿氧化物薄膜和透明ITO顶电极组成。该压控变容管以云母为衬底,使用O2作为溅射气体,利用溅射沉积技术在云母上依次沉积厚度为150nm‑250nm的(Ag/ITO)n底电极、厚度为200nm的钙钛矿氧化物薄膜和厚度为100nm‑300nm的ITO顶电极,制得无机柔性全透明钙钛矿氧化物压变变容管。本发明的压控变容管调谐率优异、透光率高;且柔性耐弯折,弯曲半径为1.4mm时其调谐率接近平整状态时的数值,在柔性、透明电子器件中具有广泛的应用前景。

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