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公开(公告)号:CN107221532A
公开(公告)日:2017-09-29
申请号:CN201710333577.8
申请日:2017-05-12
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01L27/11502 , H01L27/28
CPC classification number: H01L27/11502 , H01L27/28
Abstract: 本发明公开了一种透明柔性氧化物铁电存储器。该透明柔性铁电存储器由依次连接的云母基片、掺杂ZnO透明电极、氧化物铁电薄膜和ITO透明电极组成。本发明的铁电存储器,以层状钙钛矿氧化物铁电薄膜作为铁电功能层;其透光性好,波长超过400nm的可见光的透光率在80%以上;且柔性耐弯折,弯曲半径为1.4mm时,饱和极化强度和剩余极化强度接近于平整状态时的数值;耐高温性能优异,经450℃退火后,饱和极化强度和剩余极化强度无明显变化,在透明柔性铁电存储器中具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN109036849B
公开(公告)日:2020-06-26
申请号:CN201810697031.5
申请日:2018-06-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01G7/06
Abstract: 本发明公开了无机柔性钙钛矿氧化物压控变容管及其制备方法。该透明柔性压控变容管由依次连接的云母衬底、全透明层状(Ag/ITO)n底电极、钙钛矿氧化物薄膜和透明ITO顶电极组成。该压控变容管以云母为衬底,使用O2作为溅射气体,利用溅射沉积技术在云母上依次沉积厚度为150nm‑250nm的(Ag/ITO)n底电极、厚度为200nm的钙钛矿氧化物薄膜和厚度为100nm‑300nm的ITO顶电极,制得无机柔性全透明钙钛矿氧化物压变变容管。本发明的压控变容管调谐率优异、透光率高;且柔性耐弯折,弯曲半径为1.4mm时其调谐率接近平整状态时的数值,在柔性、透明电子器件中具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN109036849A
公开(公告)日:2018-12-18
申请号:CN201810697031.5
申请日:2018-06-29
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01G7/06
Abstract: 本发明公开了无机柔性钙钛矿氧化物压控变容管及其制备方法。该透明柔性压控变容管由依次连接的云母衬底、全透明层状(Ag/ITO)n底电极、钙钛矿氧化物薄膜和透明ITO顶电极组成。该压控变容管以云母为衬底,使用O2作为溅射气体,利用溅射沉积技术在云母上依次沉积厚度为150nm‑250nm的(Ag/ITO)n底电极、厚度为200nm的钙钛矿氧化物薄膜和厚度为100nm‑300nm的ITO顶电极,制得无机柔性全透明钙钛矿氧化物压变变容管。本发明的压控变容管调谐率优异、透光率高;且柔性耐弯折,弯曲半径为1.4mm时其调谐率接近平整状态时的数值,在柔性、透明电子器件中具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN107221532B
公开(公告)日:2018-11-13
申请号:CN201710333577.8
申请日:2017-05-12
Applicant: 南京理工大学
IPC: H01L27/11502 , H01L27/28
Abstract: 本发明公开了一种透明柔性氧化物铁电存储器。该透明柔性铁电存储器由依次连接的云母基片、掺杂ZnO透明电极、氧化物铁电薄膜和ITO透明电极组成。本发明的铁电存储器,以层状钙钛矿氧化物铁电薄膜作为铁电功能层;其透光性好,波长超过400nm的可见光的透光率在80%以上;且柔性耐弯折,弯曲半径为1.4mm时,饱和极化强度和剩余极化强度接近于平整状态时的数值;耐高温性能优异,经450℃退火后,饱和极化强度和剩余极化强度无明显变化,在透明柔性铁电存储器中具有广泛的应用前景。
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