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公开(公告)号：CN102426176B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110366861.8
申请日：2011-11-18
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气体传感器及其制造工艺，气体传感器包括硅基底、二氧化硅绝热截至层、叉指信号电极、测温电极、加热电极；所述的硅基底具有通孔结构，硅基底的上表面包括通孔的顶部设有二氧化硅层，所述的二氧化硅层采用表面工艺加工成悬臂结构。二氧化硅层上表面设有叉指信号电极、测温电极和加热电极组成的电极组，电极组上表面设有二氧化锡层本发明工艺将加热电极、叉指信号电极、测温电极制作于一层，降低了制造复杂度，提高了成品率；将传感器二氧化硅层腐蚀，形成悬臂结构，减小热量的传输通道，使得传感器的功耗更低。
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公开(公告)号：CN102495110A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201110366862.2
申请日：2011-11-18
Applicant: 南京工业大学
IPC: G01N27/14
Abstract: 本发明公开了一种气体传感器测试系统，包括配气单元、气敏性测量装置以及测试单元；所述配气单元包括一个空气供给单元、一个以上的待测气体供给单元、将空气与待测气体混匀的气体混合室，所述气体混合室连通气敏性测量装置，用于将配比后的气体通过管道输入气敏性测量装置。所述测试单元包括数据采集器，连接数据采集器的温控仪、尾气分析装置以及计算机；所述数据采集器分别电连接空气供给单元和气敏性测量装置；尾气分析装置通过管道连通所述气敏性测量装置。
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公开(公告)号：CN102070118A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201010518328.4
申请日：2010-10-26
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开一种金属氧化物半导体纳米薄膜气体传感器用微加热板，包括硅基底、硅岛、氮化硅截止层、二氧化硅绝热层、叉指信号电极、测温电极、加热电极；所述的硅基底具有通孔结构，硅基底的上表面包括通孔的顶部设有氮化硅截止层，氮化硅截止层上表面设有二氧化硅绝热层，二氧化硅绝热层上表面设有叉指信号电极、测温电极和加热电极组成的电极组，在硅基底通孔的顶部氮化硅截止层的下表面设有硅岛。本发明还公开了上述微加热板的制造工艺。本发明将加热电极、叉指信号电极、测温电极制作于一层，降低了制造复杂度，提高了成品率；在传感器工作区域的下方设计并制造出一个硅岛结构以传导加热电极所产生的热量，使得工作区域得到均匀的温度分布。
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公开(公告)号：CN101762625A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN201010018000.6
申请日：2010-01-19
Applicant: 南京工业大学
IPC: G01N27/14
Abstract: 本发明公开了气敏材料的气敏性测量装置，包括密封壳体，在壳体内设有加热台以及伸入壳体的两个电极探针机构和聚四氟乙烯结构块；所述密封壳体包括筒体，密封设置在筒体上方的上端盖以及密封设置在筒体下方的下端盖；所述加热台包括螺纹副连接的腔体和位于加热台腔体内的加热电阻丝、热电偶温度计以及隔热保温石英棉；所述电极探针机构包括由外部伸入壳体的电极，电极位于壳体内的一端连接有活动弹片，所述活动弹片一端连接有探针夹头。本发明探针与气敏材料接触可靠；加热台工作温度能有效的传递给气敏薄膜；整个装置外部温度低于手可触摸温度；缩小反应室体积，加快气体浓度调节；测量装置在抽真空状态下，超过10个小时气压不变，密封性能好。
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公开(公告)号：CN101762625B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201010018000.6
申请日：2010-01-19
Applicant: 南京工业大学
IPC: G01N27/14
Abstract: 本发明公开了气敏材料的气敏性测量装置，包括密封壳体，在壳体内设有加热台以及伸入壳体的两个电极探针机构和聚四氟乙烯结构块；所述密封壳体包括筒体，密封设置在筒体上方的上端盖以及密封设置在筒体下方的下端盖；所述加热台包括螺纹副连接的腔体和位于加热台腔体内的加热电阻丝、热电偶温度计以及隔热保温石英棉；所述电极探针机构包括由外部伸入壳体的电极，电极位于壳体内的一端连接有活动弹片，所述活动弹片一端连接有探针夹头。本发明探针与气敏材料接触可靠；加热台工作温度能有效的传递给气敏薄膜；整个装置外部温度低于手可触摸温度；缩小反应室体积，加快气体浓度调节；测量装置在抽真空状态下，超过10个小时气压不变，密封性能好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102426176A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201110366861.8
申请日：2011-11-18
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气体传感器及其制造工艺，气体传感器包括硅基底、二氧化硅绝热截至层、叉指信号电极、测温电极、加热电极；所述的硅基底具有通孔结构，硅基底的上表面包括通孔的顶部设有二氧化硅层，所述的二氧化硅层采用表面工艺加工成悬臂结构。二氧化硅层上表面设有叉指信号电极、测温电极和加热电极组成的电极组，电极组上表面设有二氧化锡层本发明工艺将加热电极、叉指信号电极、测温电极制作于一层，降低了制造复杂度，提高了成品率；将传感器二氧化硅层腐蚀，形成悬臂结构，减小热量的传输通道，使得传感器的功耗更低。
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公开(公告)号：CN102085506A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN201010518345.8
申请日：2010-10-26
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种自动溶胶凝胶制膜装置，包括支架，设置在支架上的溶胶供给机构、工作台、旋转匀胶机构、平移机构以及干燥机构；所述工作台包括旋转台；所述平移机构与工作台相连，驱动工作台移动；所述溶胶供给机构位于工作台上方，用于将溶胶滴入工作台；所述旋转匀胶机构用于驱动所述旋转台旋转，进行匀胶；所述干燥机构设置在所述工作台上方。本发明结构简单易行，加工方便，成本低廉，可高效地完成溶胶凝胶法制备纳米气敏薄膜过程；将操作者从单一、繁琐的制膜工艺中解放出来，提高了劳动效率，降低了劳动强度。同时，机械操作可避免过多的人为失误，减少不确定性因素对制膜过程的影响，提高所制薄膜的均匀性及稳定性。
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公开(公告)号：CN102085506B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201010518345.8
申请日：2010-10-26
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种自动溶胶凝胶制膜装置，包括支架，设置在支架上的溶胶供给机构、工作台、旋转匀胶机构、平移机构以及干燥机构；所述工作台包括旋转台；所述平移机构与工作台相连，驱动工作台移动；所述溶胶供给机构位于工作台上方，用于将溶胶滴入工作台；所述旋转匀胶机构用于驱动所述旋转台旋转，进行匀胶；所述干燥机构设置在所述工作台上方。本发明结构简单易行，加工方便，成本低廉，可高效地完成溶胶凝胶法制备纳米气敏薄膜过程；将操作者从单一、繁琐的制膜工艺中解放出来，提高了劳动效率，降低了劳动强度。同时，机械操作可避免过多的人为失误，减少不确定性因素对制膜过程的影响，提高所制薄膜的均匀性及稳定性。
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公开(公告)号：CN100567977C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200710025221.4
申请日：2007-07-19
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种声表面波微氢气传感器及其制备工艺，主要用于生产、储备、运输和分销氢的过程中氢的安全检测技术领域。该传感器在具有传统单层钯膜氢气传感器常温工作的特性的同时，极大地提高了氢气传感器的灵敏度，同时由于采用MEMS工艺微氢气传感器还具有体积小、响应快、易集成、稳定性好、成本低、易批量生产等优点。本发明的声表面波微氢气传感器，主要包括：压电基底、输入叉指换能器、输出叉指换能器和氢敏薄膜，其氢敏薄膜由钯银合金薄膜和二氧化锡薄膜构成，二氧化锡薄膜依附于压电基底上，钯银合金薄膜依附于二氧化锡薄膜上面，从而构成双层敏感薄膜。
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公开(公告)号：CN101101278A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200710025221.4
申请日：2007-07-19
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种声表面波微氢气传感器及其制备工艺，主要用于生产、储备、运输和分销氢的过程中氢的安全检测技术领域。该传感器在具有传统单层钯膜氢气传感器常温工作的特性的同时，极大地提高了氢气传感器的灵敏度，同时由于采用MEMS工艺微氢气传感器还具有体积小、响应快、易集成、稳定性好、成本低、易批量生产等优点。本发明的声表面波微氢气传感器，主要包括：压电基底、输入叉指换能器、输出叉指换能器和氢敏薄膜，其氢敏薄膜由钯银合金薄膜和二氧化锡薄膜构成，二氧化锡薄膜依附于压电基底上，钯银合金薄膜依附于二氧化锡薄膜上面，从而构成双层敏感薄膜。
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