一种具有过渡层结构的半导体石墨基座盘及其制备方法

    公开(公告)号:CN112391675A

    公开(公告)日:2021-02-23

    申请号:CN202011278741.8

    申请日:2020-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种具有过渡层结构的半导体石墨基座盘及其制备方法,包括从下往上依次包括依次层叠的石墨基座盘基体、第一SiC界面层、Si过渡层、第二SiC界面层、热解炭过渡层以及梯度SiC涂层。本发明在反应室高温下沉积的硅过渡层可与石墨基座盘基体在反应界面处形成致密第一SiC界面层,从而构成化学键结合,提高涂层的结合强度,在反应室高温下沉积的硅过渡层可与石墨基座盘基体在反应界面处形成致密第一SiC界面层,从而构成化学键结合,提高涂层的结合强度,梯度SiC涂层的组分含量呈线性梯度分布,进一步缓解涂层与基体之间的热匹配差异;本发明可缓解涂层与基体之间的热应力,可有效避免涂层裂纹的产生,提高其使用寿命。

    一种复合型分子筛催化剂及其制备方法和在制备丙烯酸中的应用

    公开(公告)号:CN101049571B

    公开(公告)日:2010-05-19

    申请号:CN200710022411.0

    申请日:2007-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种复合型分子筛催化剂及其制备方法和在制备丙烯酸中的应用。该催化剂含有下列重量百分比的组分:HZSM-5分子筛0.1~93%,NaY分子筛6~99.8%,K 0.001~1.0%。该方法是按所述催化剂组分的配比关系取HZSM-5分子筛和NaY分子筛,加入含K+的溶液,搅拌混合,过滤,滤饼经焙烧后即得所需催化剂。该催化剂可用于催化化学合成的乳酸或生物发酵的乳酸脱水反应制备丙烯酸。本发明提供的方法操作过程简单,易于控制,成本低,乳酸脱水转化率可达99%,丙烯酸选择性可达70%以上,工业化应用前景好。

    一种生物质乳酸脱水生产丙烯酸的工艺

    公开(公告)号:CN101255109A

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN200810023342.X

    申请日:2008-04-09

    Abstract: 本发明提供一种生物质乳酸脱水生产丙烯酸的工艺,具体涉及一种生物质发酵得到的乳酸为原料进行催化脱水生产丙烯酸的工艺。其特征在于将乳酸水溶液加热至150~200℃气化得到的乳酸-水混合蒸气与载气混合,将混合后的气体继续加热到200~450℃后进入气-固相催化反应器中经改性Y沸石分子筛催化剂作用脱水得反应产物气体,反应产物气体冷却后经气液分离得到丙烯酸溶液,丙烯酸溶液再依次经过气提、共沸蒸馏或萃取、精馏得到粗丙烯酸产品。本发明首次提出了生物质乳酸脱水制丙烯酸的工艺过程,该工艺过程能很好地应用到以改性Y沸石分子筛为催化剂乳酸脱水制丙烯酸的绿色催化的放大生产中,是一种满足工业化需求、实用性很强的新工艺。

    一种复合型分子筛催化剂及其制备方法和在制备丙烯酸中的应用

    公开(公告)号:CN101049571A

    公开(公告)日:2007-10-10

    申请号:CN200710022411.0

    申请日:2007-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种复合型分子筛催化剂及其制备方法和在制备丙烯酸中的应用。该催化剂含有下列重量百分比的组分:HZSM-5分子筛0.1~93%,NaY分子筛6~99.8%,K 0.001~1.0%。该方法是按所述催化剂组分的配比关系取HZSM-5分子筛和NaY分子筛,加入含K+的溶液,搅拌混合,过滤,滤饼经焙烧后即得所需催化剂。该催化剂可用于催化化学合成的乳酸或生物发酵的乳酸脱水反应制备丙烯酸。本发明提供的方法操作过程简单,易于控制,成本低,乳酸脱水转化率可达99%,丙烯酸选择性可达70%以上,工业化应用前景好。

    一种石墨基座盘表面梯度TaC涂层

    公开(公告)号:CN112374891B

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202011278669.9

    申请日:2020-11-16

    Abstract: 本发明公开了一种石墨基座盘表面梯度TaC涂层,包括石墨基座盘基体,石墨基座盘基体的表面设有梯度TaC涂层;梯度TaC涂层包括TaC组份和C组份,TaC组份含量从内至外从0%逐渐增加到100%,且梯度分布符合y=ax线性方程规律或者符合y=ax2抛物线性规律分布。本发明利用CVD动态共沉积技术,实现涂层中TaC组分含量从0‑100%的梯度跨越,由于涂层内层为热解炭层,其与石墨基体热膨胀系数相近,随后逐渐过渡,可有效改善涂层与基体之间的热匹配差异;同时涂层中软质C组份结构和纳米孔隙可有效缓解TaC晶体的热膨胀,以降低涂层内的应力峰值。

    一种生物质乳酸脱水生产丙烯酸的工艺

    公开(公告)号:CN101255109B

    公开(公告)日:2011-01-12

    申请号:CN200810023342.X

    申请日:2008-04-09

    Abstract: 本发明提供一种生物质乳酸脱水生产丙烯酸的工艺,具体涉及一种生物质发酵得到的乳酸为原料进行催化脱水生产丙烯酸的工艺。其特征在于将乳酸水溶液加热至150~200℃气化得到的乳酸-水混合蒸气与载气混合,将混合后的气体继续加热到200~450℃后进入气-固相催化反应器中经改性Y沸石分子筛催化剂作用脱水得反应产物气体,反应产物气体冷却后经气液分离得到丙烯酸溶液,丙烯酸溶液再依次经过气提、共沸蒸馏或萃取、精馏得到粗丙烯酸产品。本发明首次提出了生物质乳酸脱水制丙烯酸的工艺过程,该工艺过程能很好地应用到以改性Y沸石分子筛为催化剂乳酸脱水制丙烯酸的绿色催化的放大生产中,是一种满足工业化需求、实用性很强的新工艺。

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