宽量程柔性电容式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113686466A

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202110551510.8

    申请日:2021-05-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于介电应变效应的宽量程柔性电容式压力传感器及其制备方法,传感器按照从上至下顺序依次设置有传感器上电极、复合介质层和传感器下电极,在上下电极之上附着一层保护层,所述复合介质层由柔性基底材料掺杂纳米铁磁性材料组成,同时用磁铁对纳米铁磁性粒子的分布进行控制,使其在柔性基底内规则排布,因此,在压力的作用下,敏感层产生形变,纳米粒子的电偶极矩足够近并且趋于同向就可以在电偶极子之间产生较强的耦合作用,使传感器的电介质获得较高的介电系数,以此来提高传感器的灵敏度。

    LC无源无线压力传感器及制备方法、模具

    公开(公告)号:CN115420405A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211115998.0

    申请日:2022-09-14

    Abstract: 本发明提供一种LC无源无线压力传感器及制备方法、模具,所述制备方法包括:制备复合电介质;图形化导电基底,获得电容电极和电感;将所述电容电极和电感固定于塑封膜,并至少在所述电容电极背离所述塑封膜的一侧设置绝缘层;将固定好的所述电容电极和电感分别固定于所述复合电介质沿其厚度方向的两个表面,并在真空环境下进行加热密封,得到所述LC无源无线压力传感器。上述方法制备形成的压力传感器具有更好的测量灵敏度、线性度,并且制备方法简单、材料成本低廉。

    一种电容式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105136352A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201510569876.2

    申请日:2015-09-09

    Inventor: 余辉洋

    Abstract: 本发明公开了一种基于介电应变效应的带温度补偿的MEMS电容式压力传感器及其加工方法。本发明利用介电应变效应,某些介电材料在应力的作用下,其介电常数会发生变化,该原理可以应用于压力传感器的设计,将感压膜设计成由多层材料构成的电容结构。在压力作用下,感压膜发生形变,膜的面积、厚度以及介质层中产生的应力使电容的介电常数发生变化,电容值发生变化,并且介电常数的变化是电容变化的主要因素。压力越大,介质层中的应力越大,介电常数的变化也越大。但是由于温度的变化也会导致介电材料中的应力的变化。因此,这种电容结构存在温度效应。本发明提出了一种将感压膜设计成两个电容,并采用两种不同的材料作为电容的绝缘介质,利用两种材料的温度效应不同进行温度补偿的结构设计。

    一种基于LC谐振阵列的位置传感器

    公开(公告)号:CN118623745A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410664106.5

    申请日:2024-05-27

    Abstract: 本公开的实施例提供一种基于LC谐振阵列的位置传感器,传感器包括LC谐振阵列、信号读取端和被检体;LC谐振阵列包括若干LC谐振器和微带线;LC谐振器包括电感组件、电容组件和导线;导线用于连接电感组件和电容组件形成串联谐振回路;被检体设置于由若干LC谐振器限定的空间内;其中,电容组件用于检测被检体的位移;微带线与信号读取端连接;其中,电感组件与微带线电磁耦合用于测量谐振频率;信号读取端用于读取LC谐振阵列的谐振频率。本公开中,由于本公开通过电容组件电容变化测量被检体位移,而电容对强磁场不敏感,因此不受影响,从而可以有效保证被检体位移测量的准确性和可靠性。

    一种电容式压力传感器、线性补偿方法及制备方法

    公开(公告)号:CN107515060B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN201710759949.3

    申请日:2017-08-29

    Abstract: 本发明提供一种电容式压力传感器、线性补偿方法及制备方法,所述电容式压力传感器包括衬底、形成在该衬底层的导电区域、该导电区域作为电容单元的下电极,所述电容单元还包括形成在所述下电极上的绝缘介质层以及形成在所述绝缘介质层上的上电极,所述电容单元包括并联的且具有不同电极面积的第一电容单元和第二电容单元;所述第一电容单元为接触式电容单元并具有第一密封腔;所述第二电容单元为非接触式电容单元并具有第二密封腔。本发明通过线性补偿方法,实现包括不同电极面积的接触式电容单元和非接触式电容单元组合的结构,能够解决非线性问题,并且提高整个传感器结构的灵敏度。

    宽量程柔性电容式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113686466B

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN202110551510.8

    申请日:2021-05-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于介电应变效应的宽量程柔性电容式压力传感器及其制备方法,传感器按照从上至下顺序依次设置有传感器上电极、复合介质层和传感器下电极,在上下电极之上附着一层保护层,所述复合介质层由柔性基底材料掺杂纳米铁磁性材料组成,同时用磁铁对纳米铁磁性粒子的分布进行控制,使其在柔性基底内规则排布,因此,在压力的作用下,敏感层产生形变,纳米粒子的电偶极矩足够近并且趋于同向就可以在电偶极子之间产生较强的耦合作用,使传感器的电介质获得较高的介电系数,以此来提高传感器的灵敏度。

    一种柔性永磁材料自供电压力传感器的制备方法及传感器

    公开(公告)号:CN117870913A

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202410045510.4

    申请日:2024-01-11

    Abstract: 本公开的实施例提供一种柔性永磁材料自供电压力传感器的制备方法及传感器,包括:提供模具;模具包括空心半球腔体;将未磁化的磁粉、溶剂、溶液固化剂及碳酸氢铵按比例混合,得到共混液;转移共混液于空心半球腔体中,并排除模具内共混液中的空气;固化共混液得到柔性材料;对柔性材料进行充磁得到柔性永磁材料;制作平面螺旋导电线圈;将柔性永磁材料与平面螺旋导电线圈封装,得到柔性永磁材料自供电压力传感器。本发明中,磁性材料和导电线圈本身制作工艺简单,性能不易受环境因素影响。通过调整碳酸氢铵及磁粉在材料中的比例,能够改变传感器硬度、灵敏度及测量范围,半圆空心型结构能够对外界压力产生更好的应变。

    一种优化服务器机柜内部散热的智能导流模组及控制方法

    公开(公告)号:CN116634737A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310616133.0

    申请日:2023-05-29

    Abstract: 一种优化服务器机柜内部散热的智能导流模组及控制方法,智能导流模组包括机壳,机壳前端面进气口处设有一组可调整开度的进气百叶扇,机壳上端面排气口处设有一组可调整开度的第一排气百叶扇,机壳下端面排气口处设有一组可调整开度的第二排气百叶扇;机壳内部设有用于控制进气百叶扇开度的进气量控制机构,机壳内部设有用于控制第一排气百叶扇开度的第一排气量控制机构,机壳内部设有用于控制第二排气百叶扇开度的第二排气量控制机构;机壳的上端面设有用于监测温度的第一温度传感器,机壳的下端面设有用于监测温度的第二温度传感器。本发明提出的一种优化服务器机柜内部散热的智能导流模组及控制方法,解决了现有技术存在的气流无效内循环问题。

    基于Lamb波的非线性混频技术对板中微裂纹方向识别方法

    公开(公告)号:CN111157629A

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN202010010459.5

    申请日:2020-01-06

    Abstract: 本发明公开一种基于Lamb波的非线性混频技术对板中微裂纹方向识别方法,先采用脉冲反转法提取损伤响应信号中的和频信号和差频信号,再通过提取的和频信号和差频信号得到非线性散射系数β的方向性模式图,确定Lamb波最大前向散射点和最小后向散射点,垂直于Lamb波最大前向散射点和最小后向散射点连线的方向为微裂纹的方向,从而实现对微裂纹方向的识别。本发明利用混频激发的Lamb波与非线性介质相互作用会产生新的频率分量的特性,通过脉冲反转方法有效提取损伤响应信号中和频和差频有效频率成分,通过研究微裂纹不同方向的Lamb波非线性散射程度,实现对微裂纹方向的识别,有效解决了幅值过小、信号较弱的和频和差频信号不易提取和识别的技术问题。

    一种柔性电容式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108731851A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810859607.3

    申请日:2018-08-01

    Abstract: 本发明提供了一种柔性电容式压力传感器,所述柔性电容式压力传感器包括上电极、下电极,夹设于上电极和下电极之间的复合电介质层,其中,复合电介质层包括与所述上电极连接的第一结构层、与所述下电极连接的第二结构层、以及设置在第一结构层和第二结构层之间的可形变层;所述可形变层具有拓扑结构。与现有技术相比,本发明提出了基于3D打印技术的电容式压力传感器结构,精确控制压敏材料中孔的尺寸和分布,从而改善传感器的动态范围和线性度;复合电介质层的可形变结构的设置,还充分利用了介电应变效应的特性,提高了介质材料的介电应变系数,可以进一步提高传感器的灵敏度。

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