公开(公告)号：CN107515060A

公开(公告)日：2017-12-26

申请号：CN201710759949.3

申请日：2017-08-29

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 余辉洋 ,  李义丰 ,  卜明

IPC: G01L1/14

CPC classification number: G01L1/148

Abstract: 本发明提供一种电容式压力传感器、线性补偿方法及制备方法，所述电容式压力传感器包括衬底、形成在该衬底层的导电区域、该导电区域作为电容单元的下电极，所述电容单元还包括形成在所述下电极上的绝缘介质层以及形成在所述绝缘介质层上的上电极，所述电容单元包括并联的且具有不同电极面积的第一电容单元和第二电容单元；所述第一电容单元为接触式电容单元并具有第一密封腔；所述第二电容单元为非接触式电容单元并具有第二密封腔。本发明通过线性补偿方法，实现包括不同电极面积的接触式电容单元和非接触式电容单元组合的结构，能够解决非线性问题，并且提高整个传感器结构的灵敏度。

公开(公告)号：CN107515060B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN201710759949.3

申请日：2017-08-29

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 余辉洋 ,  李义丰 ,  卜明

IPC: G01L1/14

Abstract: 本发明提供一种电容式压力传感器、线性补偿方法及制备方法，所述电容式压力传感器包括衬底、形成在该衬底层的导电区域、该导电区域作为电容单元的下电极，所述电容单元还包括形成在所述下电极上的绝缘介质层以及形成在所述绝缘介质层上的上电极，所述电容单元包括并联的且具有不同电极面积的第一电容单元和第二电容单元；所述第一电容单元为接触式电容单元并具有第一密封腔；所述第二电容单元为非接触式电容单元并具有第二密封腔。本发明通过线性补偿方法，实现包括不同电极面积的接触式电容单元和非接触式电容单元组合的结构，能够解决非线性问题，并且提高整个传感器结构的灵敏度。

公开(公告)号：CN207300455U

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201721094685.6

申请日：2017-08-29

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 余辉洋 ,  李义丰 ,  卜明

IPC: G01L1/14

Abstract: 本实用新型提供一种电容式压力传感器，所述电容式压力传感器包括衬底、形成在该衬底层的导电区域、该导电区域作为电容单元的下电极，所述电容单元还包括形成在所述下电极上的绝缘介质层以及形成在所述绝缘介质层上的上电极，所述电容单元包括并联的且具有不同电极面积的第一电容单元和第二电容单元；所述第一电容单元为接触式电容单元并具有第一密封腔；所述第二电容单元为非接触式电容单元并具有第二密封腔。本实用新型利用不同电极面积的接触式电容单元和非接触式电容单元组合的结构，能够解决非线性问题，并且提高整个传感器结构的灵敏度。