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公开(公告)号：CN109700451A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910063879.7
申请日：2019-01-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了基于纳米粒子点阵量子电导的柔性温敏压力传感器及其组装方法和应用，所述传感器包括高分子聚合物薄膜，金属纳米粒子点阵、金属微电极和电导测量外电路；其中，至少一组金属纳米粒子点阵沉积于高分子聚合物薄膜的上下表面，且各组内上下表面的金属纳米粒子点阵位置一一对应；金属微电极设于各组金属纳米粒子点阵的两侧，且对称分布于高分子聚合物薄膜的上下表面；电导测量外电路与金属微电极电连接。本发明纳米粒子点阵的电导响应信号随粒子间距呈指数关系，因此对压力引起的形变会有极其灵敏的响应；避免了额外集成温度传感器，精简了传感结构；纳米粒子点阵的阻抗都处于兆欧量级，功耗极小；能够大面积生产与封装。
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公开(公告)号：CN109700451B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201910063879.7
申请日：2019-01-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了基于纳米粒子点阵量子电导的柔性温敏压力传感器及其组装方法和应用，所述传感器包括高分子聚合物薄膜，金属纳米粒子点阵、金属微电极和电导测量外电路；其中，至少一组金属纳米粒子点阵沉积于高分子聚合物薄膜的上下表面，且各组内上下表面的金属纳米粒子点阵位置一一对应；金属微电极设于各组金属纳米粒子点阵的两侧，且对称分布于高分子聚合物薄膜的上下表面；电导测量外电路与金属微电极电连接。本发明纳米粒子点阵的电导响应信号随粒子间距呈指数关系，因此对压力引起的形变会有极其灵敏的响应；避免了额外集成温度传感器，精简了传感结构；纳米粒子点阵的阻抗都处于兆欧量级，功耗极小；能够大面积生产与封装。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107941409A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201710976931.9
申请日：2017-10-19
Applicant: 南京大学
IPC: G01L9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，所述压力计包括密封空腔和电导测量外电路；其中，密封空腔的一端设有电极引线，另一端设有高分子聚合物薄膜，高分子聚合物薄膜在密封空腔中的一侧涂覆有至少一对金属微电极，金属微电极之间设有金属纳米粒子点阵；电导测量外电路上设有电极，电极与电极引线相连，并对应地连接到金属微电极上。本发明所述压力计具有很高的分辨率，能够稳定工作于不同气压范围的大气环境中；所述压力计结构简单，成本低，能够模块化制备与封装，可用于便携式个人气象站，三维GPS，微机电系统等多种领域。
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公开(公告)号：CN105444872B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201610003870.3
申请日：2016-01-04
Applicant: 南京大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供基于纳米粒子点阵量子输运特性的振动传感器，包括金属纳米粒子点阵(1)、带有微电极(3)的悬臂梁(2)、基础(4)和质块(5)；其中，纳米粒子点阵(1)制备于悬臂梁(2)表面且位于一对微电极(3)之间；悬臂梁(2)呈现长条状，一端固定于基础(4)上，另一端为自由端；在悬臂梁(2)的自由端附着质块(5)；以金属纳米粒子点阵(1)作为传感器的敏感材料；构成纳米粒子点阵(1)的材料是各种金属，纳米粒子的粒径为1‑500nm，纳米粒子的覆盖率在0.3‑0.99个单层之间。
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公开(公告)号：CN105444872A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201610003870.3
申请日：2016-01-04
Applicant: 南京大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供基于纳米粒子点阵量子输运特性的振动传感器，包括金属纳米粒子点阵(1)、带有微电极(3)的悬臂梁(2)、基础(4)和质块(5)；其中，纳米粒子点阵(1)制备于悬臂梁(2)表面且位于一对微电极(3)之间；悬臂梁(2)呈现长条状，一端固定于基础(4)上，另一端为自由端；在悬臂梁(2)的自由端附着质块(5)；以金属纳米粒子点阵(1)作为传感器的敏感材料；构成纳米粒子点阵(1)的材料是各种金属，纳米粒子的粒径为1-500nm，纳米粒子的覆盖率在0.3-0.99个单层之间。
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公开(公告)号：CN107941409B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201710976931.9
申请日：2017-10-19
Applicant: 南京大学
IPC: G01L9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，所述压力计包括密封空腔和电导测量外电路；其中，密封空腔的一端设有电极引线，另一端设有高分子聚合物薄膜，高分子聚合物薄膜在密封空腔中的一侧涂覆有至少一对金属微电极，金属微电极之间设有金属纳米粒子点阵；电导测量外电路上设有电极，电极与电极引线相连，并对应地连接到金属微电极上。本发明所述压力计具有很高的分辨率，能够稳定工作于不同气压范围的大气环境中；所述压力计结构简单，成本低，能够模块化制备与封装，可用于便携式个人气象站，三维GPS，微机电系统等多种领域。
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公开(公告)号：CN113659005A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110912113.9
申请日：2021-08-10
Applicant: 南京大学
IPC: H01L29/76 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L21/335 , H01L21/34
Abstract: 本发明公开了基于纳米粒子点阵的柔性场效应晶体管及制备方法和应用，所述场效应晶体管以高分子聚合物薄膜为基底，纳米粒子点阵为导电沟道，并通过栅极电压的改变调控纳米粒子点阵中的库仑阻塞作用，从而调控纳米粒子点阵两侧电极之间的电流，实现柔性场效应晶体管的功能。与现有技术相比，本发明具有以下优点：(1)能够通过栅极电压调控金属纳米粒子点阵隧穿电导，因此可以灵敏地响应栅极电压对源漏极电流的影响；(2)具有体积小、能耗低、低噪声、高柔性的优点；(3)具有很高的灵敏度，结构简单，成本低，能够模块化制备与封装，可用于柔性集成电路，微电极系统等多种领域。
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