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公开(公告)号:CN113659005A
公开(公告)日:2021-11-16
申请号:CN202110912113.9
申请日:2021-08-10
Applicant: 南京大学
IPC: H01L29/76 , H01L29/06 , H01L29/10 , H01L21/335 , H01L21/34
Abstract: 本发明公开了基于纳米粒子点阵的柔性场效应晶体管及制备方法和应用,所述场效应晶体管以高分子聚合物薄膜为基底,纳米粒子点阵为导电沟道,并通过栅极电压的改变调控纳米粒子点阵中的库仑阻塞作用,从而调控纳米粒子点阵两侧电极之间的电流,实现柔性场效应晶体管的功能。与现有技术相比,本发明具有以下优点:(1)能够通过栅极电压调控金属纳米粒子点阵隧穿电导,因此可以灵敏地响应栅极电压对源漏极电流的影响;(2)具有体积小、能耗低、低噪声、高柔性的优点;(3)具有很高的灵敏度,结构简单,成本低,能够模块化制备与封装,可用于柔性集成电路,微电极系统等多种领域。