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公开(公告)号：CN105305209B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201510740645.3
申请日：2015-11-04
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种高重复频率的极紫外超快时间分辨光电能谱系统，包括基于光纤啁啾脉冲放大的高重复频率超短脉冲激光系统，极紫外超短脉冲转换系统，光学参量转换系统及超短脉冲泵浦‑探测光电能谱系统；超短脉冲激光系统，通过光纤啁啾脉冲放大技术实现高重复频率超短脉冲激光的输出，高重复频率的超短脉冲激光输出通过分束片一分为二，其中一部分作为泵浦光；另一部分通过光学参量转换系统产生可见‑红外超短脉冲激光作为探测光；泵浦光和探测光共同进入超短脉冲泵浦‑探测光电子能谱系统，通过探测光电子能谱系统中合束器入射至探测光电能谱系统的光能能谱测量仪；泵浦光和探测光合束器及光电子能谱仪均位于真空系统中。本发明能谱信号信噪比好，稳定性高。
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公开(公告)号：CN106756810A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710004091.X
申请日：2017-01-04
Applicant: 南京大学
IPC: C23C14/28 , C30B23/02 , G01N23/227
Abstract: 先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。
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公开(公告)号：CN109638624A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201910066739.5
申请日：2019-01-24
Applicant: 南京大学
CPC classification number: H01S3/109 , H01S3/1083
Abstract: 本发明公开了一种基于超短脉冲激光的高效率且波长连续可调的极紫外光产生系统，包括：所述超短脉冲激光器输出的基频光经过光学倍频器或者光学参量放大器进行波长转换，通过高次谐波产生仪将转换后的脉冲激光聚焦在惰性气体上辐射产生高次谐波，通过极紫外光单色仪进行波长选择，最终输出高能量及高光通量的单色极紫外光。本发明稳定性高，信噪比好，采用光学倍频器或光学参量放大器对超短脉冲基频光进行波长转换，并通过分光光栅、反射镜及多维调整结构从高次谐波谱中选择特定光子能量的高次谐波，实现高效率且波长连续可调，产生的高能量及高光通量极紫外光可用于时间分辨及角分辨光电子能谱系统和极紫外光相干衍射成像系统的研究。
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公开(公告)号：CN105305209A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510740645.3
申请日：2015-11-04
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种高重复频率的极紫外超快时间分辨光电能谱系统，包括基于光纤啁啾脉冲放大的高重复频率超短脉冲激光系统，极紫外超短脉冲转换系统，光学参量转换系统及超短脉冲泵浦-探测光电能谱系统；超短脉冲激光系统，通过光纤啁啾脉冲放大技术实现高重复频率超短脉冲激光的输出，高重复频率的超短脉冲激光输出通过分束片一分为二，其中一部分作为泵浦光；另一部分通过光学参量转换系统产生可见-红外超短脉冲激光作为探测光；泵浦光和探测光共同进入超短脉冲泵浦-探测光电子能谱系统，通过探测光电子能谱系统中合束器入射至探测光电能谱系统的光能能谱测量仪；泵浦光和探测光合束器及光电子能谱仪均位于真空系统中。本发明能谱信号信噪比好，稳定性高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106756810B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201710004091.X
申请日：2017-01-04
Applicant: 南京大学
IPC: C23C14/28 , C30B23/02 , G01N23/2273
Abstract: 先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。
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公开(公告)号：CN109659798A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201910013953.4
申请日：2019-01-08
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，包括：所述超高重复频率的飞秒激光器用于输出飞秒量级的激光脉冲，其重复频率最高可达MHz；所述聚焦光学元件用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体内的连续性气体装置中；所述连续性气体装置用于释放气体并与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统用于吸收气体装置中多余气体，确保装置内的真空度；所述监控系统用于监控激光和气体装置的相互作用，避免装置被激光击穿。本发明结构简单，操作便捷，所形成的高通量和超高重复频率极紫外射线具有飞秒级别的脉冲宽度，能够为光电子能谱等科学仪器应用提供优质光源，大大提高测量效率，有助于超快领域研究。
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公开(公告)号：CN209266823U
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201920022931.X
申请日：2019-01-08
Applicant: 南京大学
Abstract: 本实用新型公开了一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，包括：所述超高重复频率的飞秒激光器用于输出飞秒量级的激光脉冲，其重复频率最高可达MHz；所述聚焦光学元件用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体内的连续性气体装置中；所述连续性气体装置用于释放气体并与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统用于吸收气体装置中多余气体，确保装置内的真空度；所述监控系统用于监控激光和气体装置的相互作用，避免装置被激光击穿。本实用新型结构简单，操作便捷，所形成的高通量和超高重复频率极紫外射线具有飞秒级别的脉冲宽度，能够为光电子能谱等科学仪器应用提供优质光源，大大提高测量效率，有助于超快领域研究。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206408285U
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201720005833.6
申请日：2017-01-04
Applicant: 南京大学
IPC: C23C14/28 , C30B23/02 , G01N23/227
Abstract: 先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。
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公开(公告)号：CN206697746U
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201720004631.X
申请日：2017-01-04
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种飞秒级超快时间分辨光电能谱系统，包括超短脉冲激光系统，极紫外超短脉冲生成系统，光学参量转换系统以及光电能谱系统；超短脉冲激光系统的激光输出通过分束片一分为二，其中一束通过光学参量转换系统输出可见-红外超短脉冲激光作为泵浦光，另一束通过极紫外超短脉冲生成系统输出高光子能量的激光作为探测光；泵浦光和探测光共同进入光电能谱系统，通过泵浦-探测合束器入射至光电能谱系统中的样品表面，被激发的光生电子进入光电能谱系统的光电子能谱仪；极紫外超短脉冲激光生成系统，光电能谱系统均位于真空系统。
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