公开(公告)号：CN106756810B

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201710004091.X

申请日：2017-01-04

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  倪志强 ,  聂忠辉 ,  黎遥 ,  何亮 ,  王学锋

IPC: C23C14/28 ,  C30B23/02 ,  G01N23/2273

Abstract: 先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。

公开(公告)号：CN109638624A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201910066739.5

申请日：2019-01-24

Applicant: 南京大学

Inventor： 黎遥 ,  倪志强 ,  聂忠辉 ,  涂鉴 ,  赵亚飞 ,  徐永兵 ,  何亮 ,  阮学忠

IPC: H01S3/109 ,  H01S3/108

CPC classification number: H01S3/109 ,  H01S3/1083

Abstract: 本发明公开了一种基于超短脉冲激光的高效率且波长连续可调的极紫外光产生系统，包括：所述超短脉冲激光器输出的基频光经过光学倍频器或者光学参量放大器进行波长转换，通过高次谐波产生仪将转换后的脉冲激光聚焦在惰性气体上辐射产生高次谐波，通过极紫外光单色仪进行波长选择，最终输出高能量及高光通量的单色极紫外光。本发明稳定性高，信噪比好，采用光学倍频器或光学参量放大器对超短脉冲基频光进行波长转换，并通过分光光栅、反射镜及多维调整结构从高次谐波谱中选择特定光子能量的高次谐波，实现高效率且波长连续可调，产生的高能量及高光通量极紫外光可用于时间分辨及角分辨光电子能谱系统和极紫外光相干衍射成像系统的研究。

公开(公告)号：CN106756810A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201710004091.X

申请日：2017-01-04

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  倪志强 ,  聂忠辉 ,  黎遥 ,  何亮 ,  王学锋

IPC: C23C14/28 ,  C30B23/02 ,  G01N23/227

Abstract: 先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。

公开(公告)号：CN206408285U

公开(公告)日：2017-08-15

申请号：CN201720005833.6

申请日：2017-01-04

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  倪志强 ,  聂忠辉 ,  黎遥 ,  何亮 ,  王学锋

IPC: C23C14/28 ,  C30B23/02 ,  G01N23/227

Abstract: 先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。