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公开(公告)号：CN109974583B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201910287491.5
申请日：2019-04-11
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 一种非接触光学元件表面面形测量装置及方法，包括上位机、电子控制模块、探头支撑结构、光学探头、待测元件、元件夹持装置、Z轴电动平移台、千分表及XY轴电动平移台。光学探头向待测元件表面投影聚焦光点，光点反射回物镜后通过三孔光阑形成三孔亮斑。由于亮斑之间距离与光点高度位置有关，因此实时采集图像计算亮斑之间距离可获得表面厚度。为了增加高度测量范围，使用Z轴电动平移台上下移动待测元件并使用千分表测量元件位置。相比传统的接触式面形测量系统，本发明具有非接触的优点，可避免影响元件表面并同时获得大测量范围及高精度。
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公开(公告)号：CN109764817A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201910031967.9
申请日：2019-01-14
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明提供一种非接触式透镜中心厚测量系统，包括：探头、上位机、样件夹持装置、Z轴电动平移台模块、电子控制模块及探头支撑结构。本发明还提供一种非接触式透镜中心厚测量方法，Z轴电动平移台模块带动待测透镜移动，每移动一定距离拍摄物点阵列的反射图像，上位机实时计算物点图像的尺寸，记录每个物点对应的共轭平面位置信息并拟合获得透镜表面中心处的面形，进一步计算两个表面顶点的距离获得透镜中心厚。具有非接触的优点，避免了测量对透镜表面质量的影响，同时克服了透镜安装倾斜的影响，提高了测量效率。
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公开(公告)号：CN109974583A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910287491.5
申请日：2019-04-11
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 一种非接触光学元件表面面形测量装置及方法，包括上位机、电子控制模块、探头支撑结构、光学探头、待测元件、元件夹持装置、Z轴电动平移台、千分表及XY轴电动平移台。光学探头向待测元件表面投影聚焦光点，光点反射回物镜后通过三孔光阑形成三孔亮斑。由于亮斑之间距离与光点高度位置有关，因此实时采集图像计算亮斑之间距离可获得表面厚度。为了增加高度测量范围，使用Z轴电动平移台上下移动待测元件并使用千分表测量元件位置。相比传统的接触式面形测量系统，本发明具有非接触的优点，可避免影响元件表面并同时获得大测量范围及高精度。
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公开(公告)号：CN209623618U
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201920482591.9
申请日：2019-04-11
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 一种非接触光学元件表面面形测量装置，包括上位机、电子控制模块、探头支撑结构、光学探头、待测元件、元件夹持装置、Z轴电动平移台、千分表及XY轴电动平移台。光学探头向待测元件表面投影聚焦光点，光点反射回物镜后通过三孔光阑形成三孔亮斑。由于亮斑之间距离与光点高度位置有关，因此实时采集图像计算亮斑之间距离可获得表面厚度。为了增加高度测量范围，使用Z轴电动平移台上下移动待测元件并使用千分表测量元件位置。相比传统的接触式面形测量系统，本实用新型具有非接触的优点，可避免影响元件表面并同时获得大测量范围及高精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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