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公开(公告)号：CN111575712A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201910122058.6
申请日：2019-02-19
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出了铬金复合层的去除方法及微型器件的制造方法，属于微型器件制造领域；其中铬金复合层的去除方法包括步骤：先将蒸镀有铬金复合层的样品在室温条件下浸泡在硝酸盐酸混合溶液中110s～130s；再使用金属治具与样品的铬金属层接触，并取出样品暴露在空气中10～15s，金属治具包括还原性弱于铬的金属；本发明铬金复合层的去除方法通过王水和原电池反应实现了在常温下快速去除铬金复合层，提高了微型器件的生产效率，并减少污染。
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公开(公告)号：CN110416379A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910643177.6
申请日：2019-07-17
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L33/44 , H01L25/075 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种微型发光二极管器件、显示器及其制造方法，微型发光二极管器件包括暂态基板、覆盖所述暂态基板的黏着层、位于所述黏着层的保护层、位于所述保护层上的多个金属电极层以及位于每个金属电极层上的微型发光二极管。本发明通过在黏着层上增设一层保护层，保护层可以保护黏着层不会在微型发光二极管刻蚀、剥离、清洗等过程中被药液侵蚀，防止黏着层出现鼓起、失黏；此外，由于保护层与金属电极层之间的附着力小于微型发光二极管与金属电极层之间附着力，降低了对黏着层的要求，黏着层可以使用多种胶材质，省去了传统制造中黏着层解黏步骤。
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公开(公告)号：CN110459500A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910687238.9
申请日：2019-07-29
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , H01L27/15
Abstract: 本发明提出一种微型器件真空吸头以及微型器件转移的方法，涉及微型发光二极管的技术领域，所述微型器件真空吸头从上至下依次包括带有抽气口和进气口的真空腔体、带有阵列图案的基础衬底和位于基础衬底下方的防落环；所述基础衬底上的阵列图案为多个圆台，每个圆台设有凹槽，所述凹槽内具有贯穿基础衬底并与真空腔体连通的至少一个微型通孔。本发明利用真空吸附的原理设计出一种微型器件真空转移头的结构，以实现微型器件的巨量转移，从而降低生产成本。
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公开(公告)号：CN109860092B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201910001105.1
申请日：2019-01-02
Applicant: 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L27/15
Abstract: 本发明提供一种微型发光二极管巨量转移方法及微型发光二极管显示器，包括在三种颜色Micro LED阵列上形成金属层，在阵列基板上形成对应的键合金属，采用三种颜色Micro LED阵列和阵列基板金属键合的方式将三种颜色Micro LED分次转移到阵列基板上。本发明通过在三种颜色Micro LED阵列上形成金属层，在阵列基板上形成对应的键合金属，采用三种颜色Micro LED阵列和阵列基板金属键合的方式将三种颜色Micro LED分次转移到阵列基板上，该方法省去了转移头，降低了Micro LED显示器的制造成本，制程简单，可操作性强。
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公开(公告)号：CN109860092A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910001105.1
申请日：2019-01-02
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L27/15
Abstract: 本发明提供一种微型发光二极管巨量转移方法及微型发光二极管显示器，包括在三种颜色Micro LED阵列上形成金属层，在阵列基板上形成对应的键合金属，采用三种颜色Micro LED阵列和阵列基板金属键合的方式将三种颜色Micro LED分次转移到阵列基板上。本发明通过在三种颜色Micro LED阵列上形成金属层，在阵列基板上形成对应的键合金属，采用三种颜色Micro LED阵列和阵列基板金属键合的方式将三种颜色Micro LED分次转移到阵列基板上，该方法省去了转移头，降低了Micro LED显示器的制造成本，制程简单，可操作性强。
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公开(公告)号：CN109994417B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201910459863.8
申请日：2019-05-30
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明提出一种静电转移头及其制作方法，属于Micro LED巨量转移的技术领域，包括基板、图案化的第一金属层和介电层，所述基板包括凹部和凸部，所述介电层包括与所述凹部对应的第一凹洞，所述第一金属层嵌入在基板中。本发明通过在基板或平坦层中嵌入金属，解决现有转移头出现的边缘凸起、匀胶均一性较差、边缘漏电导致吸力不足和工艺良率低的困扰，使巨量转移更好的完成的同时可以转移不同微元件且不受阻碍。
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公开(公告)号：CN109994417A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910459863.8
申请日：2019-05-30
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L33/00
Abstract: 本发明提出一种静电转移头及其制作方法，属于Micro LED巨量转移的技术领域，包括基板、图案化的第一金属层和介电层，所述基板包括凹部和凸部，所述介电层包括与所述凹部对应的第一凹洞，所述第一金属层嵌入在基板中。本发明通过在基板或平坦层中嵌入金属，解决现有转移头出现的边缘凸起、匀胶均一性较差、边缘漏电导致吸力不足和工艺良率低的困扰，使巨量转移更好的完成的同时可以转移不同微元件且不受阻碍。
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