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公开(公告)号：CN115420910A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202210985697.7
申请日：2022-08-16
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于卡西尼卵形线的原子力显微镜非栅格扫描方法。本发明基于卡西尼卵形线，通过对其构造参数加以合理选取并将其与斜坡信号进行叠加，最终合成了一条光滑连续、信号幅值恒定且能以最大覆盖率经过扫描区域的非光栅扫描轨迹，解决了传统栅格扫描因采用扫描过程中拐角处扫描速度方向存在突变而使得信号包含无穷项奇次谐波的三角波信号驱动扫描平台而带来的扫描平台易引发共振、扫描轨迹易失真的问题，从而能够有效提高原子力显微镜扫描频率上限，且其信号恒定的幅值与频率使得扫描平台的驱动控制器更加易于设计。以此作为原子力显微镜扫描轨迹进行扫描，具有扫描频率上限高，扫描精度好和能以较高的效率提升现有原子力显微镜的扫描性能等特点。
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公开(公告)号：CN115420910B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202210985697.7
申请日：2022-08-16
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于卡西尼卵形线的原子力显微镜非栅格扫描方法。本发明基于卡西尼卵形线，通过对其构造参数加以合理选取并将其与斜坡信号进行叠加，最终合成了一条光滑连续、信号幅值恒定且能以最大覆盖率经过扫描区域的非光栅扫描轨迹，解决了传统栅格扫描因采用扫描过程中拐角处扫描速度方向存在突变而使得信号包含无穷项奇次谐波的三角波信号驱动扫描平台而带来的扫描平台易引发共振、扫描轨迹易失真的问题，从而能够有效提高原子力显微镜扫描频率上限，且其信号恒定的幅值与频率使得扫描平台的驱动控制器更加易于设计。以此作为原子力显微镜扫描轨迹进行扫描，具有扫描频率上限高，扫描精度好和能以较高的效率提升现有原子力显微镜的扫描性能等特点。
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公开(公告)号：CN116482408A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310428942.9
申请日：2023-04-20
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明提出一种基于视觉引导的高速原子力显微镜扫描方法，包括以下步骤：建立区域灰度变化与扫描机构末端位姿的直接关联模型，并给出了基于PI逆模型的磁滞补偿策略，可在低视觉延时的基础上实现对复杂扫描轨迹的精准伺服控制；实现该方法的装置包括有原子力显微镜、柔顺纳米定位平台、普通定位平台、倒置显微镜、相机、滑台、倒置显微镜夹具、平台支柱、计算机及视觉伺服控制系统。以本发明作为原子力显微镜扫描控制方法和装置进行扫描，具有扫描频率上限高，扫描精度高和能以较高的效率提升现有原子力显微镜的扫描性能。
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