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公开(公告)号：CN109048645B
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN201810895449.7
申请日：2018-08-08
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种用于半导体衬底研磨的半固结研磨盘及其制备方法和用途，半固结研磨盘包括基盘及若干磨片；磨片包括骨架及含有磨粒的半固结研磨介质；骨架上均匀设有若干贯穿骨架上下表面的孔洞，含有磨粒的半固结研磨介质填充于该些孔洞内；骨架的硬度大于所述半固结研磨介质的硬度；若干磨片的下表面固接在所述基盘，若干磨片的上表面共同形成研磨工作面，相邻磨片间的间隙形成流道。本发明的用于半导体衬底研磨的新型结构半固结研磨盘，不仅可以获得较好的表面质量和较高的研磨效率，同时还可改善衬底的面形精度，可用于面形精度要求较高的半导体衬底零件的精密研磨加工。
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公开(公告)号：CN109048645A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810895449.7
申请日：2018-08-08
Applicant: 华侨大学
CPC classification number: B24B37/14 , B24B37/16 , B24D18/0009
Abstract: 本发明公开了一种用于半导体衬底研磨的半固结研磨盘及其制备方法和用途，半固结研磨盘包括基盘及若干磨片；磨片包括骨架及含有磨粒的半固结研磨介质；骨架上均匀设有若干贯穿骨架上下表面的孔洞，含有磨粒的半固结研磨介质填充于该些孔洞内；骨架的硬度大于所述半固结研磨介质的硬度；若干磨片的下表面固接在所述基盘，若干磨片的上表面共同形成研磨工作面，相邻磨片间的间隙形成流道。本发明的用于半导体衬底研磨的新型结构半固结研磨盘，不仅可以获得较好的表面质量和较高的研磨效率，同时还可改善衬底的面形精度，可用于面形精度要求较高的半导体衬底零件的精密研磨加工。
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公开(公告)号：CN107685257A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710875306.5
申请日：2017-09-25
Applicant: 华侨大学
CPC classification number: B24B3/586 , B24D3/10 , B24D18/009 , B24D2203/00
Abstract: 本发明公开了采用微织构砂轮磨削制备微锯齿刀具的方法，包含：步骤1，砂轮表面微织构的制备，依序所设计刀具的微锯齿几何参数设计出砂轮表面微织构的几何参数，在砂轮表面加工出所设计的微织构图案；步骤2，刀具刃口微锯齿的制备，将制备好的微织构砂轮安装在磨床上，将刀具刃口沿砂轮轴向方向放置，采用微织构砂轮磨削刀具刃口，将砂轮表面的微米尺度形貌复印到刀具刃口，在刀具刃口加工出有规律的微米尺度锯齿。它具有如下优点：本发明先制备砂轮表面微织构，再通过磨削制备刀具刃口微锯齿，加工效率高、加工精度高、成本低，具有广阔的市场应用前景。
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公开(公告)号：CN106239943B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201610850077.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 华侨大学 , 厦门知创科技有限公司
IPC: B29C71/00
Abstract: 本发明公开了一种针对熔融沉积制造FDM成型件的抛光机及其使用方法，包括抛光机主体及设置在抛光机主体内的加热系统、冷凝系统、恒压循环系统及控制系统；所述抛光机主体包括样品屉，样品屉的底部为网格状结构例如丝网；所述加热系统设于样品屉下方，包括抛光液箱和用于对抛光液箱加热的加热装置，抛光液箱的开口向上并正对样品屉的底部；所述冷凝系统对应样品屉设置；所述恒压循环系统对应样品屉设置；所述加热系统、冷凝系统均与所述控制系统相连；通过加热系统加热后抛光液气化并上升至样品屉内对待抛光件进行抛光，抛光结束后通过冷凝系统制冷降低样品屉内温度以使汽化的抛光液冷凝并回流至抛光液箱。
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公开(公告)号：CN108214115A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810023769.3
申请日：2018-01-10
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声辅助ELID端面磨削机床，包括床身、金属结合剂超声磨盘、研磨液喷嘴、载物盘和ELID电解电极。该ELID电解电极包括电解电极电源、电机、导轨和电极板，该电极板布置在相邻的两载物盘之间，该电极板安装在由电机控制的导轨上，通过电机控制电极板的底部与该金属结合剂超声磨盘之间的距离，该电解电极电源的正极与金属结合剂超声磨盘相连并作为阳极，该电解电极电源的负极与电极板相连并作为阴极；通过调节电解电极电源的电压和电流，控制该金属结合剂超声磨盘的电解速度。它具有如下优点：将超声振动辅助磨削技术和ELID辅助磨削技术结合在一起，使金属结合剂超声磨盘始终保持良好状态，能大大提高零件的加工效率和加工精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106239943A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610850077.7
申请日：2016-09-26
Applicant: 华侨大学 , 厦门知创科技有限公司
IPC: B29C71/00
CPC classification number: B29C71/0009
Abstract: 本发明公开了一种针对熔融沉积制造FDM成型件的抛光机及其使用方法，包括抛光机主体及设置在抛光机主体内的加热系统、冷凝系统、恒压循环系统及控制系统；所述抛光机主体包括样品屉，样品屉的底部为网格状结构例如丝网；所述加热系统设于样品屉下方，包括抛光液箱和用于对抛光液箱加热的加热装置，抛光液箱的开口向上并正对样品屉的底部；所述冷凝系统对应样品屉设置；所述恒压循环系统对应样品屉设置；所述加热系统、冷凝系统均与所述控制系统相连；通过加热系统加热后抛光液气化并上升至样品屉内对待抛光件进行抛光，抛光结束后通过冷凝系统制冷降低样品屉内温度以使汽化的抛光液冷凝并回流至抛光液箱。
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公开(公告)号：CN109531454A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811518850.5
申请日：2018-12-12
Applicant: 华侨大学 , 厦门东南新工具制造有限公司
IPC: B24D18/00
Abstract: 一种橡胶磨具的制备方法，包括以下步骤：(1)将磨粒加入到液态树脂中搅拌均匀，随后加入固化剂或加热使其固化；(2)将步骤(1)中固化后的树脂进行粉碎；使所述树脂形成具有一定直径的树脂颗粒，所述树脂颗粒含有一颗或多颗所述磨粒；(3)采用有机溶剂将橡胶弹性基体进行溶解，然后加入步骤(2)中所制备的树脂颗粒并搅拌均匀后倒入模具中，放入烘箱烘干使其固化形成磨块；(4)将固化后的磨块进行修剪、整形、粘接后制作成用于研磨和抛光的橡胶磨具。应用本发明可以解决了现有磨具加工过程中磨粒易脱落，加工工件表面损伤大的问题。
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公开(公告)号：CN206140963U
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201621079817.3
申请日：2016-09-26
Applicant: 华侨大学 , 厦门知创科技有限公司
IPC: B29C71/00
Abstract: 本实用新型公开了一种针对熔融沉积制造FDM成型件的抛光机，包括抛光机主体及设置在抛光机主体内的恒温水浴加热系统、冷凝系统、恒压循环系统及控制系统；抛光机主体包括样品屉，样品屉的底部为网格状结构，样品屉的背板上均匀设置有若干通孔；恒温水浴加热系统设于样品屉下方，包括抛光液箱和水箱，二者上下布置且内外套接在一起；抛光液箱的开口向上并正对样品屉底部的网格状结构；冷凝系统和恒压循环系统对应样品屉的背板设置；恒温水浴加热系统、冷凝系统均与所述控制系统相连；通过恒温水浴加热系统加热后抛光液气化并上升至样品屉内对待抛光件进行抛光，抛光结束后通过冷凝系统制冷降低样品屉内温度以使气化的抛光液冷凝回流至抛光液箱。
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公开(公告)号：CN208929974U
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201821271272.5
申请日：2018-08-08
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种用于半导体衬底研磨的半固结研磨盘，半固结研磨盘包括基盘及若干磨片；磨片包括骨架及含有磨粒的半固结研磨介质；骨架上均匀设有若干贯穿骨架上下表面的孔洞，含有磨粒的半固结研磨介质填充于该些孔洞内；骨架的硬度大于所述半固结研磨介质的硬度；若干磨片的下表面固接在所述基盘，若干磨片的上表面共同形成研磨工作面，相邻磨片间的间隙形成流道。本实用新型的用于半导体衬底研磨的新型结构半固结研磨盘，不仅可以获得较好的表面质量和较高的研磨效率，同时还可改善衬底的面形精度，可用于面形精度要求较高的半导体衬底零件的精密研磨加工。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207746820U
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201820039640.7
申请日：2018-01-10
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了一种超声辅助ELID端面磨削机床，包括床身、金属结合剂超声磨盘、研磨液喷嘴、载物盘和ELID电解电极。该ELID电解电极包括电解电极电源、电机、导轨和电极板，该电极板布置在相邻的两载物盘之间，该电极板安装在由电机控制的导轨上，通过电机控制电极板的底部与该金属结合剂超声磨盘之间的距离，该电解电极电源的正极与金属结合剂超声磨盘相连并作为阳极，该电解电极电源的负极与电极板相连并作为阴极；通过调节电解电极电源的电压和电流，控制该金属结合剂超声磨盘的电解速度。它具有如下优点：将超声振动辅助磨削技术和ELID辅助磨削技术结合在一起，使金属结合剂超声磨盘始终保持良好状态，能大大提高零件的加工效率和加工精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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