公开(公告)号：CN1556027A

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：CN200410012626.0

申请日：2004-01-06

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王志勇 ,  刘胜 ,  张鸿海 ,  贺德建 ,  胡晓峰 ,  汪学方 ,  陈志凌 ,  马斌

IPC: B81C5/00 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明公开了一种与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法。该方法是利用叠层原理制造具有任意曲面的三维模压刻蚀模具，然后将该三维模具对衬底上的软质材料层进行模压刻蚀，得到微系统的三维结构。该方法的关键技术三维模具的制造，是通过叠层制造的方法获得，其中每一单层的制作属于二维平面结构制造，因此与集成电路工艺完全兼容；将对准过程集中在三维模具的制作过程中一次完成，降低了模压刻蚀工艺对套刻对准需求，提高了生产效率。此外，可以使用一块三维模具对不同材料多次重复使用，进行大批量生产，进一步降低了成本。

公开(公告)号：CN1492224A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：CN03125367.9

申请日：2003-09-02

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王志勇 ,  刘胜 ,  张鸿海 ,  史铁林 ,  汪海英 ,  汪学方 ,  朱福龙 ,  贺德建

IPC: G01N3/00 ,  G01N3/317 ,  G01N3/38

Abstract: 本发明针对传统的力学试验机不能满足微机械(MEMS)等微小样品的测试需要，研究开发了一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置，它包括精密六轴数控工作台、六轴测力传感器、加温箱和计算机控制系统。六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流电机驱动。本装置可完成对微小样品的力学特性、机械行为和热－机特性测试。在Z向上使用PZT工作台或者电磁式激振器配合直线电机，可实现10－500Hz的动态加载频率；以及采用光学逆相散射法，直接测量微小样品面内与离面的三维变形，以消除工作台刚性引起的误差。

公开(公告)号：CN1594067A

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：CN03156716.9

申请日：2003-09-08

Applicant: 华中科技大学机械科学与工程学院

Inventor： 汪学方 ,  张鸿海 ,  刘胜 ,  王志勇 ,  马斌 ,  贺德建

IPC: B81C5/00

Abstract: 一种低温集成的圆片级MEMS气密性封装工艺，包括以下步骤：1.在硅基片(1)上，蒸发淀积一层铝/铬层(2)；2.在铝/铬层(2)及MEMS器件(12)的上面，投铸一层光刻胶(3)，烘干；3.在硅基片(1)的上表面、铝/铬层(2)和光刻胶(3)上，蒸发淀积一层金/铬层(4)；4.在金/铬层(4)的周围涂铸一层树脂胶(5)；5.在树脂胶(5)中，电镀一层镍层(6)；6.暴露出铝/铬层(2)；7.形成牺牲孔(9)；8.将光刻胶(3)去掉；9.在原来铝/铬(2)层的位置，溅射淀积金/铬层(7)；10.电镀金层(8)，以封住牺牲孔(9)。本发明与现有技术相比，具有不变形、封装质量高、体积减小、工艺简单、成本低的优点。

公开(公告)号：CN1247444C

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN200410012626.0

申请日：2004-01-06

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王志勇 ,  刘胜 ,  张鸿海 ,  贺德建 ,  胡晓峰 ,  汪学方 ,  陈志凌 ,  马斌

IPC: B81C5/00 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明公开了一种与集成电路工艺兼容的三维微结构模压刻蚀方法。该方法是利用叠层原理制造具有任意曲面的三维模压刻蚀模具，然后将该三维模具对衬底上的软质材料层进行模压刻蚀，得到微系统的三维结构。该方法的关键技术三维模具的制造，是通过叠层制造的方法获得，其中每一单层的制作属于二维平面结构制造，因此与集成电路工艺完全兼容；将对准过程集中在三维模具的制作过程中一次完成，降低了模压刻蚀工艺对套刻对准需求，提高了生产效率。此外，可以使用一块三维模具对不同材料多次重复使用，进行大批量生产，进一步降低了成本。

公开(公告)号：CN1247982C

公开(公告)日：2006-03-29

申请号：CN03125367.9

申请日：2003-09-02

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王志勇 ,  刘胜 ,  张鸿海 ,  史铁林 ,  汪海英 ,  汪学方 ,  朱福龙 ,  贺德建

IPC: G01N3/00 ,  G01N3/317 ,  G01N3/38

Abstract: 本发明针对传统的力学试验机不能满足微机械(MEMS)等微小样品的测试需要，研究开发了一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置，它包括精密六轴数控工作台、六轴测力传感器、加温箱和计算机控制系统。六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流电机驱动。本装置可完成对微小样品的力学特性、机械行为和热-机特性测试。在Z向上使用PZT工作台或者电磁式激振器配合直线电机，可实现10-500Hz的动态加载频率；以及采用光学逆相散射法，直接测量微小样品面内与离面的三维变形，以消除工作台刚性引起的误差。

公开(公告)号：CN2639875Y

公开(公告)日：2004-09-08

申请号：CN03237264.7

申请日：2003-09-02

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王志勇 ,  刘胜 ,  张鸿海 ,  史铁林 ,  汪海英 ,  汪学方 ,  朱福龙 ,  贺德建

IPC: G01N3/08

Abstract: 本实用新型针对传统的力学试验机不能满足微机械(MEMS)等微小样品的测试需要，研究开发了一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置，它包括精密六轴数控工作台、六轴测力传感器、加温箱和计算机控制系统。六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流电机驱动。本装置可完成对微小样品的力学特性、机械行为和热－机特性测试。在Z向上使用PZT工作台或者电磁式激振器配合直线电机，可实现10－500Hz的动态加载频率；以及采用光学逆相散射法，直接测量微小样品面内与离面的三维变形，以消除工作台刚性引起的误差。