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公开(公告)号：CN103257531A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310145818.8
申请日：2013-04-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光等离子体极紫外光源的空腔液体锡靶发生器，包括高压腔体、电加热器、热电阻、振杆、气源控制器、压力变送器、喷嘴、冷却风机和冷却水套；电加热器用于使腔体内的固态锡材融化成为液态，通过两端具有压强差的空腔环形结构喷嘴射出形成空心液滴或者空心柱状液滴流。提空腔环状的喷嘴所包含的辐射所需EUV光子能量的原子数目是最多的，并且吸收效率高；气源控制器和压力变送器所构成的加压系统用来给储液容器加高压；通过将靶室内抽真空，并充入氢气或氩气，以减少对EUV的吸收和降低高温高压的等离子体对收集镜的损害。本发明喷射距离远，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，成本低廉，更适合工业上大规模生产。
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公开(公告)号：CN112737451B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202011574468.3
申请日：2020-12-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H02P21/14 , H02P25/064
Abstract: 本发明属于伺服系统模型辨识与运动控制技术领域，公开了一种面向控制的永磁同步直线电机系统辨识方法，包括：S1、建立电机动态模型；S2、考虑干扰环境，得到模型综合描述；S3、定位力辨识；S4、摩擦力辨识；S5、以混沌信号作为驱动器输入信号，采集电机速度和位置信号；S6、将输入信号抵消非线性因素影响后，得到有效激励，辨识线性环节传递函数；S7、结合辨识结果，完成伺服控制参数整定。本发明通过对系统工作原理及环境影响进行分析，在伺服全闭环条件下完成对典型非线性因素的辨识，在分离典型非线性因素基础上，实现剩余模块的线性化辨识，解决了传统线性辨识方法辨识精度低、非线性辨识方法对控制策略和参数设计不明确的问题。
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公开(公告)号：CN112737451A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011574468.3
申请日：2020-12-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H02P21/14 , H02P25/064
Abstract: 本发明属于伺服系统模型辨识与运动控制技术领域，公开了一种面向控制的永磁同步直线电机系统辨识方法，包括：S1、建立电机动态模型；S2、考虑干扰环境，得到模型综合描述；S3、定位力辨识；S4、摩擦力辨识；S5、以混沌信号作为驱动器输入信号，采集电机速度和位置信号；S6、将输入信号抵消非线性因素影响后，得到有效激励，辨识线性环节传递函数；S7、结合辨识结果，完成伺服控制参数整定。本发明通过对系统工作原理及环境影响进行分析，在伺服全闭环条件下完成对典型非线性因素的辨识，在分离典型非线性因素基础上，实现剩余模块的线性化辨识，解决了传统线性辨识方法辨识精度低、非线性辨识方法对控制策略和参数设计不明确的问题。
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