-
公开(公告)号：CN106129792B
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201610559077.1
申请日：2016-07-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/091
CPC classification number: H01S3/091
Abstract: 本发明公开了一种亚稳态气体激光的共振增强横向光泵浦装置及方法。通过共振增强技术，可增大对泵浦光的吸收从而提高光光效率和整个系统的电光效率。通过将泵浦激光和出射激光分离，可克服使用偏振器件带来的激光提取功率的下降和相应的插入损耗，避免了双色镜的使用，降低了对单个泵浦激光模块的功率和光束质量的要求。该泵浦方案还可扩展至多路横向泵浦的本征激励及种子注入式的主振荡功率放大器(Master Oscillator Power Amplifier，MOPA)结构，有利于推动光泵浦亚稳态气体激光实现更高功率的激光输出及其在激光诱导等离子体等领域的应用。此外，共振增强的横向泵浦方法也适用于光泵浦氧碘激光器等其他光泵浦气体激光器。
-
公开(公告)号：CN106129792A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610559077.1
申请日：2016-07-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/091
CPC classification number: H01S3/091
Abstract: 本发明公开了一种亚稳态气体激光的共振增强横向光泵浦装置及方法。通过共振增强技术，可增大对泵浦光的吸收从而提高光光效率和整个系统的电光效率。通过将泵浦激光和出射激光分离，可克服使用偏振器件带来的激光提取功率的下降和相应的插入损耗，避免了双色镜的使用，降低了对单个泵浦激光模块的功率和光束质量的要求。该泵浦方案还可扩展至多路横向泵浦的本征激励及种子注入式的主振荡功率放大器(Master Oscillator Power Amplifier，MOPA)结构，有利于推动光泵浦亚稳态气体激光实现更高功率的激光输出及其在激光诱导等离子体等领域的应用。此外，共振增强的横向泵浦方法也适用于光泵浦氧碘激光器等其他光泵浦气体激光器。
-
公开(公告)号：CN106092899A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610370096.X
申请日：2016-05-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/1702 , G01N2021/1704 , G01N2201/06113 , G01N2201/127
Abstract: 本发明公开了一种基于CO2激光器的自校准测量SF6浓度的装置及方法，运用波长可调谐CO2激光器，在传统光声光谱技术的基础上，检测两个不同波长的光声信号，并通过数据处理计算出SF6浓度。该装置成功实现了自校准的SF6浓度测量，避免了传统光声光谱技术中运用标准气标定检测系统的过程，从而排除了标定过程中气压、温度、缓冲气等因素对检测结果准确性的影响，从而提高了光声光谱技术的测量精度和实用性。此外该自校准测量方法还可以应用于其他微量气体检测的场合，例如激光等离子体真空靶室中各种微量气体的检测。
-
公开(公告)号：CN103068136B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210533905.6
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明公开了一种放电等离子体电子密度测量装置及方法。装置包括探测光源、二象限探测器和信号处理器。将探测光源与二象限探测器分别放置在两个旋转平移台上，分置于放电装置的两端，使探测光源的激光对准二象限探测器的中心；重复多次将探测光源与二象限探测器在同一个维度上移动相同的距离，记录放电时不同位置二象限探测器两个光敏面的响应幅值比；再由信号处理器根据两个光敏面的响应幅值比计算出该维度上放电等离子体电子密度分布。本发明克服了传统测量装置系统结构复杂、设备昂贵的缺点，同时能够有效的提高测量精度，并且对放电等离子体不造成干扰，得到放电等离子体电子密度的空间分布。
-
公开(公告)号：CN103217869B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310105336.X
申请日：2013-03-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种用于激光等离子体极紫外光源的雾状液体锡靶发生器，包括容器、振杆、喷嘴、加热系统、加压系统和冷却机构；喷嘴上有以喷嘴中心为对称点呈中心对称且均匀分布的微孔，微孔出口端的直径大于入口端的直径，各微孔从不同的角度指向到激光作用点。加热系统让在常温下呈固态的锡材熔化成为液态；振杆的振动使液体由连续液流碎裂成液滴；加压系统用来给容器加高压，让液体从喷嘴极小的微孔中喷出并形成浓雾状；激光束通过透镜的聚焦打在汇聚的液体喷雾上产生EUV辐射；真空系统通过机械泵将靶室内抽真空。本发明喷射靶靶材喷射距离远，对喷嘴和收集镜等光学元件的影响小，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，更适合工业上大规模生产。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103105740B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201310015937.1
申请日：2013-01-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光源产生装置，包括聚焦透镜、电机、轴承、温度控制器、液体靶材、器皿和固体靶材；固体靶材位于聚焦透镜的焦平面上，器皿用于放置液体靶材，器皿位于固体靶材的下方，固体靶材部分浸入液体靶材中；温度控制器用于给器皿中的液体靶材加热使之保持液态；轴承位于固体靶材的中心，电机与轴承相连，电机用于驱动固体靶材绕轴承转动，固体靶材转动时粘附液体靶材；工作时，激光光束通过聚焦透镜聚焦后轰击粘附在所述固体靶材上方的液体靶材，激光与液体靶材相互作用产生等离子体，等离子体辐射出极紫外光。本发明能够极大的消除碎屑对反射镜以及其他光学元件的污染；能提高其产生EUV的稳定性；成本低；技术实现容易。
-
公开(公告)号：CN103001108B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210513358.5
申请日：2012-12-03
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
-
公开(公告)号：CN103036146B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201210493440.6
申请日：2012-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S5/042
Abstract: 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。
-
公开(公告)号：CN103744197A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310740490.4
申请日：2013-12-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第一透镜、第二透镜、风扇和热交换器；第一透镜、第二透镜为两个相同的ZnSe透镜，真空腔上开有两个正对的观察窗，用于激光的输入和输出；真空腔的两个观察窗的中心，与第一透镜、第二透镜的中心在一条直线上，且两透镜间的距离为2f，f为透镜的焦距。本发明与现有等离子体开关的优势是在缩短脉宽的同时，保证了较高的激光透过率，从而使输出脉冲有较高的峰值功率，并提高了装置的重复率。
-
公开(公告)号：CN103066490A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210534934.4
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光纤碱金属蒸汽激光器，包括空芯光子晶体光纤、第一单模光纤、第二单模光纤、刻蚀于第一单模光纤上的第一布拉格光栅、刻蚀于第二单模光纤上的第二布拉格光栅以及与第一单模光纤连接的泵浦光源；工作物质均匀填充于空芯光子晶体光纤中，泵浦光源出射的泵浦光通过第一单模光纤耦合作用于工作物质并产生受激种子激光，受激种子激光在第一布拉格光栅和第二布拉格光栅组成的谐振腔内来回振荡增益，并从第二单模光纤输出连续的激光。本发明提供的光纤碱金属蒸汽激光器对光路的准直性要求低；谐振腔与工作物质一体化的设计免调节、免维护、稳定性高；整个设计体积小、重量轻，紧凑性好，利于移动；光纤端面输出激光利于与外部光路耦合。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
89
records
(took 0.027 seconds)
