公开(公告)号：CN1619259A

公开(公告)日：2005-05-25

申请号：CN200410061275.2

申请日：2004-12-06

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈四海 ,  马宏 ,  汪殿民 ,  王志勇 ,  朱福龙 ,  潘峰 ,  徐涌 ,  易新建

IPC: G01D5/12 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种柔性传感器的制作方法，步骤为：制作刚性传感器；在刚性传感器的晶片前表面上旋涂一层10－15μm厚的聚酰亚胺，再甩20－30μm厚的光刻胶；晶片后表面被深刻蚀减至60－80μm厚，形成硅岛；在后表面沉积一层300－500nm厚的氮化硅，光刻成形后，刻蚀硅片直到金属层；然后采用反应离子刻蚀方法刻蚀步骤(4)沉积的氮化硅；旋涂另一层10－15μm厚的聚酰亚胺于后表面来覆盖硅岛，即获得传感器可以卷曲起来，并广泛应用于非平面表面。柔性传感器制作成创可贴式的，随意贴于人体皮肤上，也可以运用于飞行器的控制领域。柔性传感器作为一个的新发展领域，将大大促进MEMS传感器的应用前景和应用范围。