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公开(公告)号：CN1444013A
公开(公告)日：2003-09-24
申请号：CN02115589.5
申请日：2002-03-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01C15/00
Abstract: 无衍射光空间直线度基准的发生装置，包括依次位于同一光路上的激光器、光学调整器和无衍射光发生器，光学调整器光学调整器必须保证光束的发散条件：理论比值ω(R)/ω0≥10，如小焦距透镜或由焦距大于－100mm的透镜组和精密位置调整器构成。上述无衍射光发生器可以为锥镜、环缝与透镜组件、计算机全息片或二元光学组件。本发明可在激光器与光学调整器之间设有扩束镜和空间滤波器。本发明将无衍射光理论和技术应用于直线度误差测量技术，很好地解决了现有中、长距离直线度误差测量因直线度基准误差大而产生的精度低的难题，并且具有结构简单、制造简便、成本低廉和稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN1176349C
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN02138704.4
申请日：2002-06-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种二维位移工作台，由粗定位工作台(2)和细定位工作台(1)组成，细定位工作台的基座固定在粗定位工作台上。粗定位工作台由电机(11)、(12)驱动，细定位工作台由压电微位移器(18)、(19)驱动。在整个工作台的移动过程中，两个方向的位移量由正交衍射光栅尺(5)给出。工作台的特点是①采用闭环系统，工作台的定位速度快，采用粗定位和细定位相结合的方法，定位精度高。②工作台X、Y向移动均贴着一公共平面基准运动，使用工作台进行加工与测量时，具有确定的平面基准。③采用平面正交衍射光栅作为计量标准器，可显著减少阿贝尔误差，工作范围大，且较容易获得超精密级的分辨率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1387021A
公开(公告)日：2002-12-25
申请号：CN02138704.4
申请日：2002-06-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种二维位移工作台,由粗定位工作台(2)和细定位工作台(1)组成,细定位工作台的基座固定在粗定位工作台上。粗定位工作台由电机(11)、(12)驱动,细定位工作台由压电微位移器(15)、(16)驱动。在整个工作台的移动过程中,两个方向的位移量由正交衍射光栅尺(5)给出。工作台的特点是①采用闭环系统,工作台的定位速度快,采用粗定位和细定位相结合的方法,定位精度高。②工作台X、Y向移动均贴着一公共平面基准运动,使用工作台进行加工与测量时,具有确定的平面基准。③采用平面正交衍射光栅作为计量标准器,可显著减少阿贝尔误差,工作范围大,且较容易获得超精密级的分辨率。
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公开(公告)号：CN1300552C
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN02115589.5
申请日：2002-03-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 无衍射光空间直线度基准的发生装置，包括依次位于同一光路上的激光器、光学调整器和无衍射光发生器，光学调整器光学调整器必须保证光束的发散条件：理论比值ω(R)/ω0≥10，如小焦距透镜或由焦距大于-100mm的透镜组和精密位置调整器构成。上述无衍射光发生器可以为锥镜、环缝与透镜组件、计算机全息片或二元光学组件。本发明可在激光器与光学调整器之间设有扩束镜和空间滤波器。本发明将无衍射光理论和技术应用于直线度误差测量技术，很好地解决了现有中、长距离直线度误差测量因直线度基准误差大而产生的精度低的难题，并且具有结构简单、制造简便、成本低廉和稳定性好等优点。
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公开(公告)号：CN1166913C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN01114385.1
申请日：2001-07-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种大量程位移传感器，短音圈的动圈式音圈电机(1)的骨架(6)两端分别装有二块第一簧片(12，12’)，第一簧片(12)与音圈电机(1)的动子(7)连接在一起，测头(2)位于音圈电机(1)的下方，它包括保持架(13)、位于保持架上的电感传感器(14)和位于测头最下端的触针(17)，保持架(13)与音圈电机(1)的骨架(6)的下端相连，触针(17)通过二块位于保持架(13)上的第二簧片(18，18’)与电感铁芯(16)相连，电感传感器(14)依次通过电感信号处理电路(3)、A/D转换电路(4)和计算机(5)相联；计算机(5)通过D/A转换电路(51)与音圈电机(1)相联。本发明可实现表面形貌的大量程、高精度测量，且结构简单、使用方便、成本低廉。
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公开(公告)号：CN1335481A
公开(公告)日：2002-02-13
申请号：CN01114385.1
申请日：2001-07-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开了一种大量程位移传感器,短音圈的动圈式音圈电机(1)的骨架(6)两端分别装有二块第一簧片(12,12’),第一簧片(12)与音圈电机(1)的动子(7)连接在一起,测头(2)位于音圈电机(1)的下方,它包括保持架(13)、位于保持架上的电感传感器(14)和位于测头最下端的触针(17),保持架(13)与音圈电机(1)的骨架(6)的下端相连,触针(17)通过二块位于保持架(13)上的第二簧片(18,18’)与电感铁芯(16)相连,电感传感器(14)依次通过电感信号处理电路(3)、A/D转换电路(4)和计算机(5)相联;计算机(5)通过D/A转换电路(51)与音圈电机(1)相联。本发明可实现表面形貌的大量程、高精度测量,且结构简单、使用方便、成本低廉。
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公开(公告)号：CN2582813Y
公开(公告)日：2003-10-29
申请号：CN02284196.2
申请日：2002-11-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种位移工作台，由粗定位工作台(2)和细定位工作台(1)组成，细定位工作台的基座固定在粗定位工作台上。粗定位工作台由电机(11)、(12)驱动，细定位工作台由压电微位移器(15)、(16)驱动。在整个工作台的移动过程中，两个方向的位移量由正交衍射光栅尺(5)给出。工作台的特点是①采用闭环系统，工作台的定位速度快，采用粗定位和细定位相结合的方法，定位精度高。②工作台X、Y向移动均贴着一公共平面基准运动，使用工作台进行加工与测量时，具有确定的平面基准。③采用平面正交衍射光栅作为计量标准器，可显著减少阿贝尔误差，工作范围大，且较容易获得超精密级的分辨率。
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