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公开(公告)号:CN1166913C
公开(公告)日:2004-09-15
申请号:CN01114385.1
申请日:2001-07-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种大量程位移传感器,短音圈的动圈式音圈电机(1)的骨架(6)两端分别装有二块第一簧片(12,12’),第一簧片(12)与音圈电机(1)的动子(7)连接在一起,测头(2)位于音圈电机(1)的下方,它包括保持架(13)、位于保持架上的电感传感器(14)和位于测头最下端的触针(17),保持架(13)与音圈电机(1)的骨架(6)的下端相连,触针(17)通过二块位于保持架(13)上的第二簧片(18,18’)与电感铁芯(16)相连,电感传感器(14)依次通过电感信号处理电路(3)、A/D转换电路(4)和计算机(5)相联;计算机(5)通过D/A转换电路(51)与音圈电机(1)相联。本发明可实现表面形貌的大量程、高精度测量,且结构简单、使用方便、成本低廉。
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公开(公告)号:CN1335481A
公开(公告)日:2002-02-13
申请号:CN01114385.1
申请日:2001-07-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开了一种大量程位移传感器,短音圈的动圈式音圈电机(1)的骨架(6)两端分别装有二块第一簧片(12,12’),第一簧片(12)与音圈电机(1)的动子(7)连接在一起,测头(2)位于音圈电机(1)的下方,它包括保持架(13)、位于保持架上的电感传感器(14)和位于测头最下端的触针(17),保持架(13)与音圈电机(1)的骨架(6)的下端相连,触针(17)通过二块位于保持架(13)上的第二簧片(18,18’)与电感铁芯(16)相连,电感传感器(14)依次通过电感信号处理电路(3)、A/D转换电路(4)和计算机(5)相联;计算机(5)通过D/A转换电路(51)与音圈电机(1)相联。本发明可实现表面形貌的大量程、高精度测量,且结构简单、使用方便、成本低廉。
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