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公开(公告)号：CN119281636A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202410986228.6
申请日：2024-07-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明属于MEMS超声换能器与三维微纳制造技术领域，具体涉及一种MEMS超声换能器及其制备方法以及超声换能器阵列。本发明中的共形电极能够显著增强腔室中心区外的电场强度，进而显著提高灵敏度并降低驱动电压；TGV玻璃衬底能够显著降低寄生电容并提高灵敏度。进一步的，本发明的共形电极和谐振板或谐振膜的材料可以为金属或合金，与传统的单晶硅或氮化硅等材料相比，能够显著提高器件的机械寿命及可靠性。本发明还提供了所述MEMS超声换能器的制备方法，本发明提供的制备方法能够实现共形电极的高精度3D加工，一致性好、成本低，且适于大规模阵列晶圆级制造，还能兼容ASIC工艺，易于与ASIC实现3D集成。
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公开(公告)号：CN117747690A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311645913.4
申请日：2023-11-30
IPC: H01L31/09 , H01L31/0232 , H01L31/032 , H01L31/0216 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种基于超表面集成的硒化铅探测器及制备方法。硒化铅探测器包括：从下至上设置的硅片衬底、金属背板、第一介质层、硒化铅层、第二介质层和金属天线，以及设置在硒化铅层上的金属电极；第一介质层和第二介质层在硒化铅层和金属电极/金背板中间绝缘；金属天线为超表面微纳结构，选择性增强硒化铅层对响应带宽内预设波段的吸收率，抑制其他波段的吸收率；硒化铅层吸收预设波段的光场转化为电信号；金属电极包括两个长条形金属电极，分别设置在第二介质层的左右两侧；金属电极将硒化铅层产生的电信号输出，以探测预设波段的光信号。采用超表面技术解决硒化铅光电探测器响应度低和没有波长选择的问题，实现对特定波段检测并提高响应度。
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公开(公告)号：CN117491304A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311409858.9
申请日：2023-10-27
IPC: G01N21/3504 , G01J5/35
Abstract: 本发明公开了一种面向气体传感的宽角域带通红外探测器，属于红外气体传感领域。探测器自下而上包括热释电探测器、带通吸收体和聚光透镜。热释电探测器由上下电极和钽酸锂薄膜组成，带通吸收体由背板，介质层，天线簇构成。聚光透镜由衬底，介质柱组成。本发明高效收集大角度入射光线并聚焦在于热电探测器上，通过调整圆盘半径和圆盘排列组合方式实现对特定目标通带内的电磁波高效吸收。大幅降低了红外探测器结构复杂度，赋予探测器带通响应的能力，同时提高了探测器探测率。同时，超材料聚光透镜大幅提升了探测器的聚光能力，相比于一般的探测器有着更高的灵敏度和探测效率。
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公开(公告)号：CN117289450A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311191305.0
申请日：2023-09-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种MEMS扫描镜，包括：反射镜；压电驱动结构，所述压电驱动结构的数量为多个，多个所述压电驱动结构环绕所述反射镜间隔布置，所述压电驱动结构的一端固定，所述压电驱动结构的另一端悬置；弹性结构，所述压电驱动结构的所述另一端通过所述弹性结构与所述反射镜相连。根据本发明的MEMS扫描镜，通过设置弹性结构，可以给反射镜带来更大角度的偏转，扩大反射镜反射光线的偏转范围，从而便于提高MEMS扫描镜扫描范围。
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公开(公告)号：CN119986678A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510192853.8
申请日：2025-02-21
IPC: G01S17/08 , G01S7/481 , G01S7/484 , G01S7/486 , G01S7/4911 , G01S7/4912 , G01S7/48
Abstract: 本发明属于激光测距技术领域，其公开了一种新型延时锁相环高精度激光测距方法与系统，该方法包括生成两路相同的m序列信号，一路信号传输到激光器，另一路信号发送到匹配滤波器；激光信号经过待测目标的反射，由探测器接收并转化为电信号，传输到匹配滤波器，作为回波信号；回波信号进行匹配滤波，匹配滤波的粗测结果发送到以sinc函数为模型的新型延迟锁相环，用原结果的峰值及峰值附近的四个点对sinc函数模型进行函数拟合，求解得到更精确的峰值坐标，即为精测距离值，该方法在不改变原系统硬件、构成的前提下，只通过数据处理就可以显著提高测距精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118169073A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410308456.8
申请日：2024-03-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/39 , G01N21/3504 , G01N21/25 , G01N21/01
Abstract: 本申请涉及一种气体浓度检测方法、装置、电子设备及存储介质，其中，方法包括：通过预设FPGA处理器获取伪随机序列码，并利用伪随机序列码调制预设的红外光源驱动信号，以生成伪随机序列码对应的测量激光；利用测量激光穿过预设气室内的待测气体，得到测量激光对应的衰减激光，并基于预设光电探测器，将衰减激光转换为电信号；根据电信号和预设信号处理策略得到电信号对应的测量信号和参比信号，并基于伪随机序列码，计算测量信号和参比信号的最大相关值，以利用最大相关值求解待测气体的气体浓度值。由此，解决了传统气体传感器难以探测微小的气体浓度变化，无法平衡气体传感器的测程和测量精度性能差等问题。
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公开(公告)号：CN117091805A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311083129.9
申请日：2023-08-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本申请涉及微电机系统技术领域，特别涉及一种基于二维PSD的扫描镜测试系统及方法，其中，系统包括：待测扫描镜；输入组件，用于输入光束和驱动信号给待测扫描镜；二维位置传感器PSD，用于记录待测扫描镜扫描时的电压信号；采集模块，用于采集二维PSD检测到的电压信号；上位机，用于控制输入组件输入光束和驱动信号给待测扫描镜，利用驱动信号驱动待测扫描镜转动，待测扫描镜将光束反射至二维PSD，解析电压信号得到待测扫描镜扫描产生的图案数据，并根据图案数据计算待测扫描镜的关键参数。由此，解决了相关技术中对扫描镜测试检测装置的测试水平有限，导致装置测量精度较低；且装置结构复杂，装载的测量程序繁琐，使得测试效率较低等问题。
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公开(公告)号：CN119987013A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510318337.5
申请日：2025-03-18
Abstract: 本发明公开了一种MEMS扫描镜，涉及MEMS扫描镜制造技术领域，MEMS扫描镜包括：反射镜、多个第一压电驱动结构、支撑框架、多个第一弹性件、多个第二压电驱动结构和多个第二弹性件，多个第一压电驱动结构沿反射镜的周向围绕反射镜间隔布置，每个第一压电驱动结构的一端固定于支撑框架，每个第一压电驱动结构的另一端均通过相应第一弹性件与反射镜相连，多个第二压电驱动结构沿支撑框架的周向围绕支撑框架间隔布置，每个第二压电驱动结构的另一端均通过相应第二弹性件与支撑框架相连。根据本申请的MEMS扫描镜，可以增大反射镜的偏转角度，有利于增大反射镜反射光线的范围，有利于提高MEMS扫描镜的扫描范围。
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公开(公告)号：CN119757264A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411838515.9
申请日：2024-12-13
IPC: G01N21/3504 , G16C20/20 , G16C20/70 , G06F18/241 , G06N3/084 , G06N3/0985
Abstract: 本发明公开了一种NDIR混合气体检测方法及装置，属于气体检测技术领域；考虑到不同气体的吸收峰值波长均不相同，且气体的浓度会直接影响对应的吸收强度，本发明直接获取携带有不同波长下的光谱值信息的混合气体红外光谱，并通过训练了一种NDIR混合气体检测模型，来构建待检测混合气体的红外光谱与待检测混合气体中各组分气体的分类结果及浓度值的映射关系，从而实现NDIR混合气体的检测；本发明无需采用多路滤光片将混合气体分离为不同峰值吸收波长的气体，灵敏度较高，能够准确区分峰值吸收波长较为接近的不同组分的气体，能够准确地实现多组分气体检测。
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公开(公告)号：CN118294393A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410413397.0
申请日：2024-04-08
Applicant: 华中科技大学 , 汉威科技集团股份有限公司
IPC: G01N21/31 , G01N21/3504 , G01N21/359 , G01N21/39 , G01N21/01
Abstract: 本申请属于气体检测领域，具体公开了一种气体检测方法、装置及设备，方法包括：当采用第n条吸收谱线检测待测气体的浓度时，若气体对第n条吸收谱线的吸光度超出第一预设吸光度阈值，则切换到第n‑1条吸收谱线检测气体的浓度；待测气体对第n条吸收谱线的吸收强度高于对第n‑1条吸收谱线的吸收强度，n为正整数；当采用第n‑1条吸收谱线检测待测气体的浓度时，若检测到的气体浓度低于第一预设气体浓度时，则切换到第n条吸收谱线检测气体的浓度。通过本申请，采用气体对光谱的吸光度判断强吸收光谱到弱吸收光谱的切换；若当前在弱吸收光谱，且气体浓度小于预设的浓度阈值，则切换到强吸收光谱；实现了高灵敏度、全量程的气体检测。
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