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发明公开
MEMS扫描镜审中-实审

公开(公告)号：CN119987013A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510318337.5

申请日：2025-03-18

Applicant: 华中科技大学 , 湖北光谷实验室

Inventor： 孟令镯 , 王俊亚 , 尤政 , 渠自强

IPC: G02B26/08 , G02B26/10

Abstract: 本发明公开了一种MEMS扫描镜，涉及MEMS扫描镜制造技术领域，MEMS扫描镜包括：反射镜、多个第一压电驱动结构、支撑框架、多个第一弹性件、多个第二压电驱动结构和多个第二弹性件，多个第一压电驱动结构沿反射镜的周向围绕反射镜间隔布置，每个第一压电驱动结构的一端固定于支撑框架，每个第一压电驱动结构的另一端均通过相应第一弹性件与反射镜相连，多个第二压电驱动结构沿支撑框架的周向围绕支撑框架间隔布置，每个第二压电驱动结构的另一端均通过相应第二弹性件与支撑框架相连。根据本申请的MEMS扫描镜，可以增大反射镜的偏转角度，有利于增大反射镜反射光线的范围，有利于提高MEMS扫描镜的扫描范围。

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