公开(公告)号：CN117091805A

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202311083129.9

申请日：2023-08-25

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王俊亚 ,  郭和祥 ,  张锐 ,  宫伟 ,  陈海军 ,  熊圣新 ,  尤政

IPC: G01M11/00 ,  G01S7/497

Abstract: 本申请涉及微电机系统技术领域，特别涉及一种基于二维PSD的扫描镜测试系统及方法，其中，系统包括：待测扫描镜；输入组件，用于输入光束和驱动信号给待测扫描镜；二维位置传感器PSD，用于记录待测扫描镜扫描时的电压信号；采集模块，用于采集二维PSD检测到的电压信号；上位机，用于控制输入组件输入光束和驱动信号给待测扫描镜，利用驱动信号驱动待测扫描镜转动，待测扫描镜将光束反射至二维PSD，解析电压信号得到待测扫描镜扫描产生的图案数据，并根据图案数据计算待测扫描镜的关键参数。由此，解决了相关技术中对扫描镜测试检测装置的测试水平有限，导致装置测量精度较低；且装置结构复杂，装载的测量程序繁琐，使得测试效率较低等问题。

公开(公告)号：CN117289450A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202311191305.0

申请日：2023-09-14

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王俊亚 ,  丁小龙 ,  张锐 ,  宫伟 ,  陈海军 ,  熊圣新 ,  尤政

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明提供了一种MEMS扫描镜，包括：反射镜；压电驱动结构，所述压电驱动结构的数量为多个，多个所述压电驱动结构环绕所述反射镜间隔布置，所述压电驱动结构的一端固定，所述压电驱动结构的另一端悬置；弹性结构，所述压电驱动结构的所述另一端通过所述弹性结构与所述反射镜相连。根据本发明的MEMS扫描镜，通过设置弹性结构，可以给反射镜带来更大角度的偏转，扩大反射镜反射光线的偏转范围，从而便于提高MEMS扫描镜扫描范围。

公开(公告)号：CN117169921A

公开(公告)日：2023-12-05

申请号：CN202311195738.3

申请日：2023-09-14

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 王俊亚 ,  丁小龙 ,  张锐 ,  宫伟 ,  陈海军 ,  熊圣新 ,  尤政

IPC: G01S17/95 ,  G01S7/481

Abstract: 本发明提供了一种激光雷达测风装置，包括：激光模块，激光模块包括激光器和分束器，激光器用于发射激光光束，分束器用于将激光光束分为第一光束和第二光束；MEMS扫描镜，MEMS扫描镜包括反射镜、压电驱动结构和弹性结构，反射镜被配置为将第一光束反射至探测区域；平衡探测模块，平衡探测模块包括合束器和平衡探测器，合束器被配置为接收并合成第二光束和第三光束，平衡探测器探测合束器发出的合成光束；控制处理模块，控制处理模块与激光模块、MEMS扫描镜和平衡探测模块通讯连接。根据本发明的激光雷达测风装置，通过设置MEMS扫描镜，MEMS扫描镜的反射镜能够将第一光束进行偏转，实现多探测区域风速的测量，从而可以减少测量工作量，提高测量效率。