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公开(公告)号：CN1623887A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410061385.9
申请日：2004-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜微桥结构及其制作方法。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。其步骤包括：在衬底表面旋涂光敏聚酰亚胺薄膜，再进行光刻处理，形成孤岛和桥墩孔，再进行亚胺化处理；用金属填充桥墩孔；再在孤岛和金属桥墩上依次沉积氧化硅和氮化硅薄膜，形成复合薄膜层；在复合薄膜层上光刻出微桥结构图形，刻蚀至聚酰亚胺薄膜层，形成桥面和桥腿图形，并去除桥面和桥腿图形底部的聚酰亚胺薄膜，形成微桥结构。本发明解决了由于桥腿弯曲而导致的应力集中问题，并获得了具有较低应力的复合薄膜。
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公开(公告)号：CN1599114A
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：CN03160005.0
申请日：2003-09-19
Applicant: 华中科技大学机械科学与工程学院
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 一种微电子机械系统用微燃料电池，其特征是：它包括外膜(4、6)、燃料输送口(7)、空气输送口(8)、质子交换膜(5)、阴极多孔催化剂薄膜(3)、阳极多孔催化剂薄膜(1)，在所述的质子交换膜(5)的一个表面上覆有所述的阳极多孔催化剂薄膜(1)，形成阳极；在其另一个表面上覆有所述的阴极多孔催化剂薄膜(3)，形成阴极；在所述的二多孔催化剂薄膜(1、3)的外表面各覆有一带有燃料输送口(7)的外膜(4)，和一带有空气输送口(8)的外膜(6)；本发明电池具有尺寸较小、能量密度较高，寿命较长的优点，并可作为电子机械系统中持续充电的微能源使用。可与微锂电池组装后，用作电子机械系统微能源。也可作为手机、笔记本电脑等供电的小型便携式电源。
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公开(公告)号：CN101626047A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200910061700.0
申请日：2009-04-17
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种高电阻温度系数二氧化钒薄膜的制备方法，可用于非致冷红外探测。该方法在沉积有Si 3 N 4 或者SiO 2 薄膜的硅衬底上，采用反应离子束溅射法沉积厚度为50-200nm的氧化钒薄膜；待自然冷却后，取出样片，再进行退火。本发明方法所制备薄膜具有平均晶粒5～20nm的纳米结构，在半导体区具有-5％/K～-7％/K电阻温度系数(TCR)，合适的方块电阻，与常用微米结构二氧化钒相当的噪声电平的优点。是一种很有潜力的非致冷红外探测材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1295544C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200410061394.8
申请日：2004-12-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒薄膜制备在桥面之上，电极位于金属桥墩上，且与氧化钒薄膜相连。本发明采用微桥结构，不仅可以降低光开关的热容值，提高开关速度，而且通过改变微桥结构参数，还可以进一步调整光开关与衬底间的热导值。本发明为全固态器件，避免了MOMES光开关中的移动部件，提高了光开关的可靠性。本发明有利于研制高速或者低功耗的光开关阵列。
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公开(公告)号：CN1624530A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410061394.8
申请日：2004-12-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒薄膜制备在桥面之上，电极位于金属桥墩上，且与氧化钒薄膜相连。本发明采用微桥结构，不仅可以降低光开关的热容值，提高开关速度，而且通过改变微桥结构参数，还可以进一步调整光开关与衬底间的热导值。本发明为全固态器件，避免了MOMES光开关中的移动部件，提高了光开关的可靠性。本发明有利于研制高速或者低功耗的光开关阵列。
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公开(公告)号：CN1295138C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200410061385.9
申请日：2004-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜微桥结构的制作方法，其步骤包括：①清洗衬底表面，并进行表面活化；②在衬底表面旋涂一层1-5μm厚的光敏聚酰亚胺薄膜；③对聚酰亚胺薄膜进行光刻处理，形成聚酰亚胺薄膜孤岛和桥墩孔，再进行亚胺化处理；④用金属填充桥墩孔；⑤在聚酰亚胺薄膜孤岛和金属桥墩上依次沉积氧化硅和氮化硅薄膜，形成复合薄膜层，氧化硅厚度为0.1-1μm，氮化硅厚度0.1-1μm；⑥在上述复合薄膜层上光刻出微桥结构图形，刻蚀该复合薄膜层至聚酰亚胺薄膜层，形成桥面和桥腿图形，并用氧等离子体去除桥面和桥腿图形底部的聚酰亚胺薄膜，形成微桥结构。本发明解决了由于桥腿弯曲而导致的应力集中问题，并获得了具有较低应力的复合薄膜。
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公开(公告)号：CN2761576Y
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200420057831.4
申请日：2004-12-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种薄膜微桥结构。其桥腿与桥面采用氧化硅和氮化硅复合薄膜制成，均位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔。本实用新型解决了由于桥腿弯曲而导致的应力集中问题；并采用了应力平衡技术，利用二氧化硅薄膜的压应力来平衡氮化硅薄膜的张应力，可以获得具有较低应力的复合薄膜。
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公开(公告)号：CN2762175Y
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200420057891.6
申请日：2004-12-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种氧化钒薄膜微型光开关。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒薄膜制备在桥面之上，电极位于金属桥墩上，且与氧化钒薄膜相连。本实用新型采用微桥结构，不仅可以降低光开关的热容值，提高开关速度，而且通过改变微桥结构参数，还可以进一步调整光开关与衬底间的热导值。本实用新型为全固态器件，避免了MOMES光开关中的移动部件，提高了光开关的可靠性。本实用新型有利于研制高速或者低功耗的光开关阵列。
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