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公开(公告)号:CN119816189A
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202411951916.5
申请日:2024-12-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微电子及压电电子学技术领域,涉及一种具有压电效应的异质结双极型晶体管器件及其制备方法,其包括基底、绝缘层、发射区、集电区及金属电极;所述基底为凸形结构,记所述基底中间凸起部分为基区,两端未凸起部分为衬底;所述基底的两端的衬底上均覆盖所述绝缘层,所述发射区与所述集电区分别位于所述基底两端的绝缘层上;所述金属电极包括第一金属电极、第二金属电极、第三金属电极;所述第一金属电极、第二金属电极、第三金属电极分别设置在所述集电区、发射区以及基区上,且相互之间不接触,所述发射区、集电区的材料均为N型ZnO,所述基底为硅,达到提高其压电效应的稳定性和可调控性的技术效果。