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公开(公告)号：CN106891614A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201710113306.1
申请日：2017-02-28
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: B41J2/01 , B41J11/002
Abstract: 本发明属于柔性电子制造、激光加工领域，具体设计一种曲面打印激光实时烧结固化装置和方法，该装置包括打印模块，观测模块和激光输出模块；所述打印模块包括高精度微纳图案打印系统、喷印头和曲面基板，所述观测模块包括观测相机和相机移动装置，所述激光输出模块包括一台激光器和激光调节装置。本发明还公开了一种曲面打印激光实时烧结固化的方法。本发明利用激光实时烧结工艺可以完成打印结构的瞬间烧结、固化，同时可以通过激光能量密度等工艺参数调节固化程度，得到可控的截面形状，从而在曲面上得到理想的微纳结构图案，有助于实现微纳结构的功能性，有助于解决曲面基板打印精确定位的难题。
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公开(公告)号：CN103895345B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201410118287.8
申请日：2014-03-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J2/01
CPC classification number: B41J2/145 , B41J2/072 , B41J3/28 , B41J3/407 , B41J25/308 , H01L31/022425 , Y02E10/50
Abstract: 本发明公开了一种提供一种多功能、高分辨率电流体喷墨打印系统及方法，其包括：一控制单元，一硬质基板承载运动模块，一喷印模块，一卷到卷薄膜基板输送模块，一喷射视觉检测模块，由外壳箱体围成的温度、湿度可控的微环境控制单元。其中喷印模块包括控制喷嘴移动的运动平台和喷嘴，实现三种喷印方式调控，同时具有观测基板上图案的视觉系统；硬质基板承载运动模块，用以承载、固定硬质打印介质基板，使其相对喷嘴移动；卷到卷薄膜输送模块，用以进给和吸附柔性基板，保证其表面平整和在运动中无滑移；一喷射视觉检测模块，用以检测液滴空间飞行轨迹；一温度湿度控制模块，用来控制打印腔体内的温度和湿度，保证打印的稳定性。
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公开(公告)号：CN104291264B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201410554042.X
申请日：2014-10-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米压电纤维的柔性能量捕获器件及其制备方法。所述器件自下而上依次包括：柔性基材、电极层、压电纤维层、保护层；所述柔性基材为柔性绝缘塑料薄膜；所述压电纤维层为PVDF纤维。通过采用柔性基材，采用照相制版工艺制备梳状电极，并选择合适的静电纺丝参数沉积PVDF压电纤维，无需再对压电纤维进行极化，使纤维整齐排列、减小纤维缺陷，能够简化纳米压电纤维能量捕获器件制备工艺，提高能量转换效率，尤其是对弯曲运动机械能的捕获效果。
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公开(公告)号：CN104485419A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410698667.3
申请日：2014-11-26
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01L51/05 , H01L51/0021 , H01L51/0508
Abstract: 本发明公开了应用混合型喷嘴喷印制造有机场效应晶体管的方法，包括以下步骤：1)喷印Gate极；2)喷印介电层；3)成形导电单元：混合型喷嘴喷出的液体在接收基板上沉积形成导电单元及覆在导电单元上的油层；4)转印；5)制造连接电极层；6)组合封装。本发明工艺简单，在混合型喷嘴制备完成的情况下，静电纺丝工艺实现简单，对环境要求也较低；成本低，设备成本低，同时制造过程中均只需要一定浓度的溶液，损耗少；精度、分辨率高，不需重复定位，而且静电纺丝所得纤维器件均在微纳尺度，集成度完全满足电路要求；效率高，大面积制造也易于实现，静电纺丝工艺可通过增加喷嘴数量并行纺丝，大大提高产量与效率，满足工业实际要求。
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公开(公告)号：CN106910678B
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201710135335.8
申请日：2017-03-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/027
Abstract: 本发明属于电子器件制备工艺领域，并公开了一种图案化掩膜版的制备方法，包括以下步骤：1)在透明基板的第一表面上沉积一层吸光材料层并图案化；2)在透明基板的第二表面上旋涂聚合物材料层；3)用激光照射透明基板的第一表面，该透明基板上被吸光材料覆盖的区域，激光能量未达到聚合物材料烧蚀阈值，聚合物得以保留；而透明基板上未被吸光材料覆盖的区域的聚合物会被激光烧蚀，聚合物材料层被烧蚀后实现图案化，并且图案的形状与透明基板的第一表面沉积的吸光材料的形状一致，从而形成所述图案化掩膜版。本发明可以实现对激光剥离后的界面粘附强度调控，通过控制剥离后的界面粘附强度，使大面积柔性超薄器件剥离后依然粘附在刚性衬底上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105742500A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610269083.3
申请日：2016-04-27
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01L51/0508 , H01L51/0516 , H01L51/052
Abstract: 本发明公开了一种利用电流体直写工艺制备场效应晶体管的方法，包括：(1)在基板上制备有机半导体薄膜；(2)利用电流体直写工艺，在具有半导体薄膜的基板上制备平行的直线纤维；(3)通过电流体直写制备与之垂直的平行介电纤维；(4)在基板上真空沉积金属；(5)在介电纤维两端涂覆导电银浆，引出栅电极。本发明还公开了相应的产品。本发明的方法利用介电微纳纤维得到晶体管沟道，沟道长度尺寸与纤维直径尺寸相当，能够达到亚微米甚至纳米级，同时该纤维也是晶体管的绝缘层。另外通过一次金属真空沉积，可同时形成场效应晶体管的源极、漏极和栅极。本发明极大地简化了晶体管的制备工艺步骤，同时降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN103911678A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201410155392.9
申请日：2014-04-17
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: D01D5/0069 , D01D5/34
Abstract: 本发明公开了一种用于电流体喷印的同轴喷嘴，包括外喷嘴和内喷嘴，外喷嘴底部设有轴孔，轴孔套接有连接座，连接座上设有轴向台阶孔，台阶孔内套接内喷嘴底座，外喷嘴靠近喷口的一侧的内筒还套接有对中支架，内喷针的一端固定在内喷嘴底座上，另一端穿过对中支架的定位通孔固定，连接座的外壁上还套接有压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器与外喷筒固定连接。本发明提供的电流体喷印的同轴喷嘴，内外喷嘴的相对高度可通过压电陶瓷驱动装置精密调节，实现内外层不同溶液的相对流量的精密控制，以及对同轴纺丝的各层“壳”结构厚度的更精确控制，并通过对中支架的设置提高内外喷嘴的同轴对中精度。
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公开(公告)号：CN103895345A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118287.8
申请日：2014-03-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J2/01
CPC classification number: B41J2/145 , B41J2/072 , B41J3/28 , B41J3/407 , B41J25/308 , H01L31/022425 , Y02E10/50
Abstract: 本发明公开了一种多功能、高分辨率电流体喷墨打印系统及方法，其包括：一控制单元，一硬质基板承载运动模块，一喷印模块，一卷到卷薄膜基板输送模块，一喷射视觉检测模块，由外壳箱体围成的温度、湿度可控的微环境控制单元。其中喷印模块包括控制喷嘴移动的运动平台和喷嘴，实现三种喷印方式调控，同时具有观测基板上图案的视觉系统；硬质基板承载运动模块，用以承载、固定硬质打印介质基板，使其相对喷嘴移动；卷到卷薄膜输送模块，用以进给和吸附柔性基板，保证其表面平整和在运动中无滑移；一喷射视觉检测模块，用以检测液滴空间飞行轨迹；一温度湿度控制模块，用来控制打印腔体内的温度和湿度，保证打印的稳定性。
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公开(公告)号：CN103753956A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410014118.X
申请日：2014-01-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J2/01
Abstract: 本发明公开了一种电流体动力喷墨打印系统和方法，包括基板运动模块，其包括设置在底座上的可沿第一方向平动的第一运动机构、可相对其沿垂直于第一方向的第二方向平动的第二运动机构、以及微运动平台，承载打印介质基板固定设置在其上，可在由该第一方向和第二方向定义的平面上移动，并可沿垂直于该平面的第三方向移动，从而使得承载打印介质基板可在基板运动模块作用下多自由度运动；喷印模块，其设置在一支撑架上，具有用于喷墨的喷嘴。本发明解决了目前喷嘴制造工艺复杂，无法打印亚微米尺寸图案，高粘度墨水无法喷出等问题，具有高分辨率、高效率、适应高粘度墨水等优点。
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公开(公告)号：CN103510275A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310282662.8
申请日：2013-07-05
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开一种多层薄膜微结构自对准制备方法，通过分隔板将喷头内腔体纵向分为至少两个腔室，在各腔室内注入不相溶的高分子溶液，并汇聚于喷头的喷嘴处；施加高压静电场，同时驱使接收板做平面直线运动，在高压静电场作用下喷嘴处的溶液变形成泰勒锥，从泰勒锥尖端拉出射流，射流中的多种高分子材料先后沿着接收板运动的方向进行静电纺丝，形成多层薄膜微结构。本发明还公开一种实现上述方法的装置，分隔板纵向设于喷嘴内，将喷嘴内腔体分隔为至少左右两个腔室；在喷嘴端部设有端部盖板，端部盖板与喷嘴端部之间设有密封片；喷嘴的侧面开有溶液注入孔。本发明实现多层薄膜微结构的高精度自对准制备,工序简单，成本低，有利于大规模的推广使用。
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