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公开(公告)号：CN104053511A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201280067426.8
申请日：2012-12-28
Applicant: 北陆电气工业株式会社
CPC classification number: B06B1/0666 , H01L41/0926
Abstract: 本发明提供一种体感性优异且振动的收敛时间短的压电振动装置。对振动板(1)的一端(1a)进行固定。在振动板(1)上面形成压电振动体(3)。在振动板(1)的一端(1a)以残留压电振动体(3)的端子部(3d)的方式固定安装用支架(9)。在振动板(1)的另一端(1c)固定锤部件(5)。锤部件(5)的刚性比振动板(1)大。锤部件(5)的固有频率被定为大于等于形成了压电振动体(3)的振动板(1)的固有频率的3倍。锤部件(5)具有有与振动板(1)接触的接触面(5b)的基部(5c)，和与基部(5c)设置成一体且沿振动板(1)延伸的本体部(5d)。在本体部(5d)的与振动板(1)相向的面(5e)上形成有倾斜面(5f)。
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公开(公告)号：CN110521218A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201880021812.0
申请日：2018-03-29
Applicant: 北陆电气工业株式会社 , 安电株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在噪音大的场所，也能够听见多个音阶的声音的压电音响部件。压电发音元件(11)由金属制的振动板(12)以及设置于振动板(12)的至少一面上的压电元件(15)构成。振动板(12)的非固定部具有彼此相对的一对长边(13A)和长度比该长边(13A)短且彼此相对的一对短边(13B)，在一对长边(13A)中具有向相互靠近的方向凸出的一对凹部(13C)。压电元件(15)设置于振动板(12)的一对凹部(13C)之间的区域上，振动板(12)的非固定部(13)以及压电元件(15)各自的轮廓形状被设定成相对于将一对短边(13B)一分为二的第一假想线(PL1)对称且相对于将一对长边(13A)一分为二的第二假想线(PL2)对称。
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公开(公告)号：CN102792477A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180013522.X
申请日：2011-03-09
Applicant: 北陆电气工业株式会社
IPC: H01L41/22
CPC classification number: H01L41/316 , H01L41/1132 , H01L41/1876
Abstract: 提供一种具备PZT膜的传感器元件的制造方法，能够形成优质且大致均匀的PZT膜。在具有550μm以上的厚度的SOI衬底31的一面上形成下部电极E0。在从SOI衬底31的另一面侧加热了SOI衬底31的状态下，在下部电极E0之上形成PZT膜37。对PZT膜37实施蚀刻处理，形成规定的PZT膜图案19。在PZT膜图案19之上形成与下部电极E0相对置的规定图案的上部电极E1。对SOI衬底31的另一面实施研磨加工，使SOI衬底31的厚度薄到使PZT膜图案19的特性有效地发挥的规定厚度。之后，从SOI衬底31的另一面实施蚀刻处理，形成具有可挠性的可挠部11。
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公开(公告)号：CN110521218B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201880021812.0
申请日：2018-03-29
Applicant: 北陆电气工业株式会社 , 株式会社电装电子
Abstract: 本发明提供一种即使在噪音大的场所，也能够听见多个音阶的声音的压电音响部件。压电发音元件(11)由金属制的振动板(12)以及设置于振动板(12)的至少一面上的压电元件(15)构成。振动板(12)的非固定部具有彼此相对的一对长边(13A)和长度比该长边(13A)短且彼此相对的一对短边(13B)，在一对长边(13A)中具有向相互靠近的方向凸出的一对凹部(13C)。压电元件(15)设置于振动板(12)的一对凹部(13C)之间的区域上，振动板(12)的非固定部(13)以及压电元件(15)各自的轮廓形状被设定成相对于将一对短边(13B)一分为二的第一假想线(PL1)对称且相对于将一对长边(13A)一分为二的第二假想线(PL2)对称。
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公开(公告)号：CN104053511B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280067426.8
申请日：2012-12-28
Applicant: 北陆电气工业株式会社
CPC classification number: B06B1/0666 , H01L41/0926
Abstract: 本发明提供一种体感性优异且振动的收敛时间短的压电振动装置。对振动板(1)的一端(1a)进行固定。在振动板(1)上面形成压电振动体(3)。在振动板(1)的一端(1a)以残留压电振动体(3)的端子部(3d)的方式固定安装用支架(9)。在振动板(1)的另一端(1c)固定锤部件(5)。锤部件(5)的刚性比振动板(1)大。锤部件(5)的固有频率被定为大于等于形成了压电振动体(3)的振动板(1)的固有频率的3倍。锤部件(5)具有有与振动板(1)接触的接触面(5b)的基部(5c)，和与基部(5c)设置成一体且沿振动板(1)延伸的本体部(5d)。在本体部(5d)的与振动板(1)相向的面(5e)上形成有倾斜面(5f)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104752602B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201510117615.7
申请日：2011-03-09
Applicant: 北陆电气工业株式会社
IPC: H01L41/316
CPC classification number: H01L41/316 , H01L41/1132 , H01L41/1876
Abstract: 提供一种具备PZT膜的传感器元件的制造方法，能够形成优质且大致均匀的PZT膜。在具有550μm以上的厚度的SOI衬底31的一面上形成下部电极E0。在从SOI衬底31的另一面侧加热了SOI衬底31的状态下，在下部电极E0之上形成PZT膜37。对PZT膜37实施蚀刻处理，形成规定的PZT膜图案19。在PZT膜图案19之上形成与下部电极E0相对置的规定图案的上部电极E1。对SOI衬底31的另一面实施研磨加工，使SOI衬底31的厚度薄到使PZT膜图案19的特性有效地发挥的规定厚度。之后，从SOI衬底31的另一面实施蚀刻处理，形成具有可挠性的可挠部11。
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公开(公告)号：CN103765160B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201280042188.5
申请日：2012-09-03
Applicant: 北陆电气工业株式会社
IPC: G01C19/5719 , H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5733 , G01P15/12 , G01P15/18 , H01L41/047 , H01L41/0475 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1132
Abstract: 本发明提供一种提高绕Z轴方向的轴产生的检测灵敏度精度、另外并且不会使绕X轴方向/Y轴方向的轴产生的检测灵敏度精度劣化的振动型的角速度传感器。重锤（3）具有圆柱状或者圆锥状。膜片（1）的外周部的轮廓形状具有在四边形的四角具有直线部（ST）的形状。在由第1假想线（L1）以及第2假想线（L2）分隔的4个区域内分别形成4个振动激励用电极（11）。在由第1假想对角线（CL1）和第2假想对角线（CL2）分隔的4个区域中分别形成4个角速度检测用电极（13）。
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公开(公告)号：CN104752602A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510117615.7
申请日：2011-03-09
Applicant: 北陆电气工业株式会社
IPC: H01L41/316
CPC classification number: H01L41/316 , H01L41/1132 , H01L41/1876
Abstract: 提供一种具备PZT膜的传感器元件的制造方法，能够形成优质且大致均匀的PZT膜。在具有550μm以上的厚度的SOI衬底31的一面上形成下部电极E0。在从SOI衬底31的另一面侧加热了SOI衬底31的状态下，在下部电极E0之上形成PZT膜37。对PZT膜37实施蚀刻处理，形成规定的PZT膜图案19。在PZT膜图案19之上形成与下部电极E0相对置的规定图案的上部电极E1。对SOI衬底31的另一面实施研磨加工，使SOI衬底31的厚度薄到使PZT膜图案19的特性有效地发挥的规定厚度。之后，从SOI衬底31的另一面实施蚀刻处理，形成具有可挠性的可挠部11。
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公开(公告)号：CN102792477B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201180013522.X
申请日：2011-03-09
Applicant: 北陆电气工业株式会社
IPC: H01L41/316
CPC classification number: H01L41/316 , H01L41/1132 , H01L41/1876
Abstract: 提供一种具备PZT膜的传感器元件的制造方法，能够形成优质且大致均匀的PZT膜。在具有550μm以上的厚度的SOI衬底31的一面上形成下部电极E0。在从SOI衬底31的另一面侧加热了SOI衬底31的状态下，在下部电极E0之上形成PZT膜37。对PZT膜37实施蚀刻处理，形成规定的PZT膜图案19。在PZT膜图案19之上形成与下部电极E0相对置的规定图案的上部电极E1。对SOI衬底31的另一面实施研磨加工，使SOI衬底31的厚度薄到使PZT膜图案19的特性有效地发挥的规定厚度。之后，从SOI衬底31的另一面实施蚀刻处理，形成具有可挠性的可挠部11。
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公开(公告)号：CN103765160A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280042188.5
申请日：2012-09-03
Applicant: 北陆电气工业株式会社
IPC: G01C19/5719 , H01L41/047 , H01L41/08
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5733 , G01P15/12 , G01P15/18 , H01L41/047 , H01L41/0475 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , G01C19/5719
Abstract: 本发明提供一种提高绕Z轴方向的轴产生的检测灵敏度精度、另外并且不会使绕X轴方向/Y轴方向的轴产生的检测灵敏度精度劣化的振动型的角速度传感器。重锤（3）具有圆柱状或者圆锥状。膜片（1）的外周部的轮廓形状具有在四边形的四角具有直线部（ST）的形状。在由第1假想线（L1）以及第2假想线（L2）分隔的4个区域内分别形成4个振动激励用电极（11）。在由第1假想对角线（CL1）和第2假想对角线（CL2）分隔的4个区域中分别形成4个角速度检测用电极（13）。
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