公开(公告)号：CN103765160B

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201280042188.5

申请日：2012-09-03

Applicant: 北陆电气工业株式会社

Inventor： 田村雅英 ,  川崎修 ,  中野贵之 ,  新川翔平 ,  矢野秀和 ,  今村彻治

IPC: G01C19/5719 ,  H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1132

Abstract: 本发明提供一种提高绕Z轴方向的轴产生的检测灵敏度精度、另外并且不会使绕X轴方向/Y轴方向的轴产生的检测灵敏度精度劣化的振动型的角速度传感器。重锤（3）具有圆柱状或者圆锥状。膜片（1）的外周部的轮廓形状具有在四边形的四角具有直线部（ST）的形状。在由第1假想线（L1）以及第2假想线（L2）分隔的4个区域内分别形成4个振动激励用电极（11）。在由第1假想对角线（CL1）和第2假想对角线（CL2）分隔的4个区域中分别形成4个角速度检测用电极（13）。

公开(公告)号：CN103765160A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280042188.5

申请日：2012-09-03

Applicant: 北陆电气工业株式会社

Inventor： 田村雅英 ,  川崎修 ,  中野贵之 ,  新川翔平 ,  矢野秀和 ,  今村彻治

IPC: G01C19/5719 ,  H01L41/047 ,  H01L41/08

CPC classification number: G01C19/56 ,  G01C19/5733 ,  G01P15/12 ,  G01P15/18 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1132 ,  G01C19/5719

Abstract: 本发明提供一种提高绕Z轴方向的轴产生的检测灵敏度精度、另外并且不会使绕X轴方向/Y轴方向的轴产生的检测灵敏度精度劣化的振动型的角速度传感器。重锤（3）具有圆柱状或者圆锥状。膜片（1）的外周部的轮廓形状具有在四边形的四角具有直线部（ST）的形状。在由第1假想线（L1）以及第2假想线（L2）分隔的4个区域内分别形成4个振动激励用电极（11）。在由第1假想对角线（CL1）和第2假想对角线（CL2）分隔的4个区域中分别形成4个角速度检测用电极（13）。