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公开(公告)号:CN110788500A
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201911032532.2
申请日:2019-10-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064
Abstract: 一种硬脆材料复杂构件飞秒激光精密成型加工系统,包括飞秒激光器、激光调谐模块、机械光闸、激光偏振模块、可变倍扩束器、平面反射镜、光学衍射元件、成丝改质模块、成丝辅助件、装夹专用工装、多轴联动电控位移台、工控机、机械臂、化学腐蚀池和碱性中和池。通过可变倍扩束器、光学衍射元件和成丝改质模块调控飞秒激光成丝长度与直径,实现硬脆材料大深径比加工;通过成丝辅助件避免成丝前端加工一致性差的不良影响;通过机械光闸、多轴联动电控位移台和工控机等光机电协同控制,完成复杂构件激光改质功能;本发明具有加工深径比大、加工品质优良、可成型复杂构件、操作全自动化等优点,在航空航天、半导体、电子工业等领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN111958107B
公开(公告)日:2022-09-23
申请号:CN202010621569.5
申请日:2020-06-30
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B23K26/064 , B23K26/046 , B23K26/38 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种激光精细加工设备,可以实现石英、硅片、蓝宝石等硬脆材料的高质量加工,解决传统制造设备合格率低、可靠性差、加工质量低的问题。利用三波长超快激光,通过光路切换与光束空间整形调制,将激光束传输至不同的加工工位,加工工位具有紧聚焦、光束成丝、以及任意形状扫描的功能,可高效地实现多种材料的加工。同时,采用多硬件共用方式显著降低设备成本。
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公开(公告)号:CN112045311B
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202010797659.X
申请日:2020-08-10
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B23K26/354 , B23K26/70 , B23K37/04 , B08B7/00
Abstract: 一种叠片双面激光自动处理装置,叠片送给模块贮存待加工叠片;吸附工装模块用于吸附、装夹和升降待加工叠片;叠片移位模块带动吸附工装模块移动至叠片送给模块处,吸附装夹位于叠片送给模块上的待加工叠片;带动吸附工装模块及待加工叠片移动至电磁吸盘A或电磁吸盘B处,放下待加工叠片;激光光源A向电磁吸盘A上的待加工叠片表面发射激光束;激光光源B向电磁吸盘B上的待加工叠片表面发射激光束;叠片翻面模块A实现电磁吸盘A上的待加工叠片的翻面;叠片翻面模块B实现电磁吸盘B上的待加工叠片的翻面。本发明同时提供了处理方法。本发明采用激光对叠片表面进行处理,叠片表面处理后粘接强度高,后续机械加工过程安全可靠。
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公开(公告)号:CN110936032A
公开(公告)日:2020-03-31
申请号:CN201911360782.9
申请日:2019-12-25
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , B23K26/142 , B23K26/70 , B23K37/04
Abstract: 一种具有抽检功能的全自动数控激光切割装置,所述的工作平台为待加工工件提供加工区域并使加工区域达到激光切割环境;所述的图像检测单元在切割前对待加工工件位置进行识别定位,将识别的信息发送至主控单元,主控单元控制机器人单元向加工区域上料,并控制工作平台使加工区域达到激光切割环境,控制激光光路传输单元开启并发射符合切割工艺的激光束,通过控制调焦装置使激光焦点位置作用于待加工工件上;主控单元按照预设的切割图像对待加工工件进行切割,切割完成后控制机器人单元完成自动下料及上料;主控单元根据预先设置的切割数量,控制图像检测单元对加工区域内的工件进行切割尺寸偏差检测,在偏差检测不满足要求时,对待加工工件位置进行重新识别定位。
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公开(公告)号:CN110405366A
公开(公告)日:2019-11-05
申请号:CN201910578135.9
申请日:2019-06-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B23K26/382 , B23K26/70 , B23K26/04
Abstract: 一种陶瓷材料激光加工装置及方法,对于陶瓷材料的激光打孔,解决目前存在所加工通孔的深径比小、锥度大、孔壁易崩边等问题,实现陶瓷材料高质量打孔,满足超高频通讯电子行业对陶瓷封装基片微细加工的需求,通过陶瓷片顺时针、逆时针、摆正的顺序操作,同步有序调控激光打孔的加工倾角,使有效减小孔壁锥度。与此同时,双面加工方式有效分散热积累、减小温度梯度,减小热影响对陶瓷材料的损伤,降低孔壁崩边。尤其是在采用锥透镜聚焦的方式下,获得贝塞尔空间分布光束,即缩小激光束聚焦后的横向光斑(横向为垂直光束传播方向)、拉长激光束聚焦后的纵向光斑(纵向为平行光束传播方向),有效提高激光利用率,减小热影响。
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公开(公告)号:CN110936031B
公开(公告)日:2022-04-22
申请号:CN201911358909.3
申请日:2019-12-25
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , B23K26/142 , B23K26/70 , B23K37/04
Abstract: 一种具有抽检功能的全自动数控激光切割方法,步骤如下:1)在切割前对待加工工件位置进行识别定位:2)控制机器人单元向加工区域上料,并控制工作平台使加工区域达到激光切割环境,并控制激光器发射符合切割工艺的激光束,控制调焦装置使激光焦点位置作用于待加工工件上;3)按照预设的切割图像对待加工工件进行切割,切割完成后由机器人单元完成自动下料及上料;当前切割完成数量是否达到预设检测值时执行步骤4);4)对加工区域内的切割完成的工件进行尺寸偏差检测,若偏差检测满足要求,则继续等待后续检测;否则,利用检测的尺寸偏差重新对待加工工件位置进行识别定位,从步骤2)重新开始执行。
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公开(公告)号:CN110788500B
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN201911032532.2
申请日:2019-10-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B23K26/53 , B23K26/064
Abstract: 一种硬脆材料复杂构件飞秒激光精密成型加工系统,包括飞秒激光器、激光调谐模块、机械光闸、激光偏振模块、可变倍扩束器、平面反射镜、光学衍射元件、成丝改质模块、成丝辅助件、装夹专用工装、多轴联动电控位移台、工控机、机械臂、化学腐蚀池和碱性中和池。通过可变倍扩束器、光学衍射元件和成丝改质模块调控飞秒激光成丝长度与直径,实现硬脆材料大深径比加工;通过成丝辅助件避免成丝前端加工一致性差的不良影响;通过机械光闸、多轴联动电控位移台和工控机等光机电协同控制,完成复杂构件激光改质功能;本发明具有加工深径比大、加工品质优良、可成型复杂构件、操作全自动化等优点,在航空航天、半导体、电子工业等领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号:CN111958107A
公开(公告)日:2020-11-20
申请号:CN202010621569.5
申请日:2020-06-30
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: B23K26/064 , B23K26/046 , B23K26/38 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种激光精细加工设备,可以实现石英、硅片、蓝宝石等硬脆材料的高质量加工,解决传统制造设备合格率低、可靠性差、加工质量低的问题。利用三波长超快激光,通过光路切换与光束空间整形调制,将激光束传输至不同的加工工位,加工工位具有紧聚焦、光束成丝、以及任意形状扫描的功能,可高效地实现多种材料的加工。同时,采用多硬件共用方式显著降低设备成本。
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公开(公告)号:CN109365410A
公开(公告)日:2019-02-22
申请号:CN201811209286.9
申请日:2018-10-17
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种实现高效激光清洗的加工头装置及清洗方法,在激光清洗过程中,通过对清洗区域噪声强度与发光强度的变化进行监测,实现对清洗状态的监测与控制,依据两个变量的变化情况,掌握清洗进度,避免反复、过度清洗,提高加工效率,提升加工效果。
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公开(公告)号:CN110806219B
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN201911032548.3
申请日:2019-10-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种谐振式惯性器件敏感功能构件超快激光微量修调系统,通过频率裂解分析器实时激励并检测待修调工件的惯性特性变化,反馈并控制超快激光同步精准去重,可实现谐振式惯性器件敏感功能构件激光微量修调功能。修调过程和检测过程都在真空腔室中完成,可实现谐振式惯性器件敏感功能构件在位修调的功能;还通过光电探测器、电光调制器和检偏器精确控制激光修调的脉冲数目,可实现谐振式惯性器件敏感功能构件亚微克精度修调的技术指标。本发明具有修调操作简便、修调精度高、修调区域可控等优点,在航空航天领域惯性导航系统中具有广泛的应用前景。
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