一种可调制多层复合薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN105586573B

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201510989622.6

    申请日:2015-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种可调制多层复合薄膜的制备方法,首先将需要制备薄膜层的基片抛光,并经超声清洗后烘干预处理;将处理后的基片置于溅射室内,先进行打底层溅射,再进行复合层循环交替溅射;溅射完成后,待所述溅射室自然冷却至室温,得到所述可调制多层复合薄膜。上述制备方法工艺简单,沉积过程易于控制,薄膜沉积后无需进行热处理、二次加工,可直接作为机械零部件表面的润滑抗微动磨损防护薄膜使用。

    一种用于表面热喷涂涂层制备过程的冷却装置

    公开(公告)号:CN203625458U

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201320877103.7

    申请日:2013-12-26

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于表面热喷涂涂层制备过程的冷却装置,包括:铜质卡盘(1)、冷却腔体(2)、预紧环(4)、固定底盘(6)、对磨密封环(8)、冷却气进口(9)和法兰盘(10);铜质卡盘(1)通过预紧环(4)安装在固定底盘(6)上,在铜质卡盘(1)与固定底盘(6)的连接处设置有对磨密封环(8),冷却腔体(2)设置在铜质卡盘(1)上,在冷却腔体(2)上开有冷却气排气口(3),冷却气进口(9)与冷却腔体(2)的内部相连通,在铜质卡盘(1)的力矩输入端设置有法兰盘(10)。本实用新型通过对磨密封环能够保证冷却气在冷却腔体中停留并对铜制卡盘进行充分冷却,既要满足小型、薄壁环形工件精确装卡的功能,又要满足其在喷涂过程中的高效冷却需求,保证喷涂过程连续进行,同时保证涂层质量与基体变形量要求。

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