公开(公告)号：CN116200732A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202310215853.6

申请日：2023-03-06

Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司

Inventor： 李琳琳 ,  杜东海 ,  刘研学 ,  蔡阿利

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/52 ,  C23C16/26 ,  C23C16/44

Abstract: 本申请提供一种开放式卷对卷化学气相沉积系统，包括反应装置、反应气体装置、至少四个抽气装置、至少两个保护气体装置、至少一个左狭缝法兰、至少一个右狭缝法兰、放卷装置以及收卷装置。反应装置包括反应腔室，反应气体装置、至少四个抽气装置和至少两个保护气体装置均与反应腔室连通，左狭缝法兰设置与反应腔室的左侧，右狭缝法兰设置于反应腔室的右侧。本申请的开放式卷对卷化学气相沉积系统，反应腔室内的压力小于1000Pa，可以实现在不开启反应腔室的情况下更换卷材，并可以实时对产品进行在线或者离线监测。

公开(公告)号：CN219499579U

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202320232354.3

申请日：2023-02-14

Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司

Inventor： 陈健健 ,  蔡阿利 ,  杜东海 ,  赵燕平 ,  童翔

IPC: H05B6/42 ,  B05D3/02

Abstract: 本实用新型提供一种线圈散热结构和旋涂烘干设备，涉及旋涂技术领域。该线圈散热结构包括外壳和阻挡件，外壳用于容纳电磁线圈盘，外壳设置有进气口。阻挡件设置于外壳内并设置于电磁线圈盘远离进气口的一侧，使从进气口进入的气体沿与电磁线圈盘的加热平面平行方向流动，用于电磁线圈盘的散热。阻挡件起到阻挡和引导气流的作用，使从进气口进入的气体沿与电磁线圈盘的加热平面平行方向流动，实现气流走向的更改，以将纵向气流完全转变成沿水平方向的横向气流，增加气流和电磁线圈盘之间的接触面积，更大程度带走电磁线圈盘产生的热量，散热效果好，进而达到高效散热的目的。