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公开(公告)号：CN116200732A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310215853.6
申请日：2023-03-06
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本申请提供一种开放式卷对卷化学气相沉积系统，包括反应装置、反应气体装置、至少四个抽气装置、至少两个保护气体装置、至少一个左狭缝法兰、至少一个右狭缝法兰、放卷装置以及收卷装置。反应装置包括反应腔室，反应气体装置、至少四个抽气装置和至少两个保护气体装置均与反应腔室连通，左狭缝法兰设置与反应腔室的左侧，右狭缝法兰设置于反应腔室的右侧。本申请的开放式卷对卷化学气相沉积系统，反应腔室内的压力小于1000Pa，可以实现在不开启反应腔室的情况下更换卷材，并可以实时对产品进行在线或者离线监测。
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公开(公告)号：CN115463797A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202211130559.7
申请日：2022-09-16
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本申请提供一种旋涂烘干装置及薄膜制备方法，旋涂烘干装置包括旋转平台、电磁线圈盘、电机、传动轴以及控制单元。旋转平台上设置有真空吸附孔，所述真空吸附孔与真空气源连通；电磁线圈盘与旋转平台间隔设置，用于均匀加热旋转平台；电机用于为旋转平台提供驱动力；传动轴连接旋转平台和电机；控制单元与电磁线圈盘连接并控制电磁线圈盘。本申请的旋涂烘干装置，能够实现加热温度可控，加热均匀，有利于薄膜的快速均匀的烘干，提高生产效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN220143895U
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202321510341.4
申请日：2023-06-13
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本实用新型属于基片处理技术领域，公开了一种旋涂旋转平台，该旋涂旋转平台包括旋转传动轴以及旋转平台，旋转平台连接旋转传动轴以被旋转传动轴驱动旋转，旋转平台上设置有吸附孔；而旋转平台上设置分隔壁，分隔壁周向包围吸附孔，若干分隔壁以吸附孔为中心向远离吸附孔的方向扩展分布，相邻分隔壁之间的距离相等。通过以吸附孔为中心，依次向外扩展分布若干分隔壁，从而当基片放置于分隔壁上时，能够被吸附孔进行吸附固定，而在进行旋转涂胶时，胶液被分隔壁阻挡，无法进入到吸附孔中，保证吸附孔不会堵塞；而由于相邻分隔壁之间的距离相等，从而使基片各部的受热均匀。
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公开(公告)号：CN221829107U
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202420343759.9
申请日：2024-02-23
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本实用新型属于加热器技术领域，公开了一种加热器。加热器包括保温件和加热组件，保温件开设容置腔，加热组件位于容置腔内，加热组件串联接入电路中，靠近容置腔内壁的部分加热组件的电阻阻值大于位于容置腔中部的部分加热组件的电阻阻值。基于上述设置，散热慢的位置也即位于容置腔中部的部分加热组件的阻值小，产生的热量少；散热快的位置也即靠近容置腔内壁的部分加热组件的阻值大，产生的热量多，多产生的热量与保温件的散失热量平衡，与散热慢的位置的热量趋于接近，进而使得容置腔内的温度场趋于一致，所以上述设置提高了加热器加热目标物体或空间的温度均匀性，且结构简单。
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公开(公告)号：CN218282442U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222457668.1
申请日：2022-09-16
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司(CN)
Abstract: 本申请提供一种旋涂烘干装置，旋涂烘干装置包括旋转平台、电磁线圈盘、电机、传动轴以及控制单元。旋转平台上设置有真空吸附孔，所述真空吸附孔与真空气源连通；电磁线圈盘与旋转平台间隔设置，用于均匀加热旋转平台；电机用于为旋转平台提供驱动力；传动轴连接旋转平台和电机；控制单元与电磁线圈盘连接并控制电磁线圈盘。本申请的旋涂烘干装置，能够实现加热温度可控，加热均匀，有利于薄膜的快速均匀的烘干，提高生产效率。
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公开(公告)号：CN221872148U
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202420241914.6
申请日：2024-01-31
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
Abstract: 本实用新型属于切割设备技术领域，公开了一种切膜装置以及切膜设备。切膜装置用于将贴附工件的贴附部从膜材上切割分离，切膜装置包括支座、切割模块以及固定模块，固定模块设置于支座上，固定模块包括承压件以及吸附件，吸附件用于吸附工件，以固定工件位置；切割模块设置于支座上，切割模块包括切割组件以及抵压组件，抵压组件被配置为贴附部贴附于工件上时将贴附部周侧的膜材抵压于承压件，切割组件用于将贴附部从膜材上切割分离。本切膜装置能够保证膜材在原位不滑动、不变形、进而降低膜材的破损率，从而提高工件的成品质量。
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公开(公告)号：CN220919309U
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202322829517.9
申请日：2023-10-20
Applicant: 北京石墨烯研究院有限公司
IPC: B01L9/02
Abstract: 本实用新型属于显微镜技术领域，公开了一种热台。该热台包括载物台、加热器和水冷模块，载物台用于承载样品，并设置于加热器上，加热器用于加热所述载物台；加热器设置于水冷模块上，水冷模块包括水冷箱、上水管和下水管，水冷箱内部形成空腔，上水管与空腔的顶端连通，下水管与空腔的底端连通。该水冷模块不仅能够承载载物台和加热器的重量，不会由于质地松软而造成损坏，同时也可根据需求对加热器进行隔热和降温，既保证了装置的强度又保证了观测样品的准确性。
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