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发明公开
真空石墨烯转移装置及真空石墨烯转移方法有权

公开(公告)号：CN108821273A

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：CN201811109110.6

申请日：2018-09-21

Applicant: 北京石墨烯研究院 , 北京大学

Inventor： 刘忠范 , 彭海林 , 李杨立志 , 孙禄钊 , 张金灿 , 贾开诚 , 刘晓婷

IPC: C01B32/194

Abstract: 本发明提供一种真空石墨烯转移装置及真空石墨烯转移方法，真空石墨烯转移装置包括壳体、升降机构、支撑凸台以及加热装置。壳体内部具有真空腔体，升降机构设于壳体并包括可升降地设于真空腔体内的压板，石墨烯薄膜固定于压板底部。支撑凸台设于真空腔体内且位于压板下方，目标基底固定于支撑凸台上。加热装置，设于真空腔体内且连接于支撑凸台，加热装置用于通过支撑凸台加热目标基底。其中，真空石墨烯转移装置通过升降机构将石墨烯薄膜下压至目标基底上，并通过加热装置加热，将石墨烯薄膜转移至目标基底。从而实现提高石墨烯转移的完整度，同时降低了石墨烯水氧掺杂，具有重要的应用价值。

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