公开(公告)号：CN117187763A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311111610.4

申请日：2023-08-30

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 徐晓龙 ,  黄梦婷 ,  王业亮 ,  黄元 ,  陈辉 ,  张德成 ,  丁一鸣 ,  杨诗其

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/30 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C23C14/54 ,  C23C14/06

Abstract: 本申请实施例提供一种二元化合物的制备方法，包括：步骤S1：在衬底上生成第一薄膜和第二薄膜；步骤S2：所述第一薄膜和所述第二薄膜通过化学气相沉积法，生成不同物相比例的二元化合物，其中，在步骤S1中，所述第一薄膜和所述第二薄膜的含量通过所述第一薄膜和所述第二薄膜的厚度来控制，在步骤S2中，通过控制第一薄膜和第二薄膜的厚度比例，控制不同物相比例的所述二元化合物的生成。本发明实施例提供的一种二元化合物的制备方法能够实现二元化合物的大面积可控相变。